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超精密光學3D測量儀器具有高精度、自動化程度高、實時反饋和范圍廣等優勢。它能夠實現微米級別的精確測量，能夠精確測量產品的尺寸、形狀和表面粗糙度等，具有廣泛的應用價值和重要意義。
中圖儀器超精密3D光學測量儀器結合鏡頭防撞保護技術、精密雙重隔振技術以及環境噪聲評價技術，具有高精度、自動化程度高、實時反饋和范圍廣等優勢，可以實現自動化測量和高效調整，可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，提高加工的準確性和效率的同時檢測加工過程中的質量控制，確保零部件質量達標。在微納米結構檢測中有著重要意義。
1、SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀超越0.1nm的縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現；優于0.1%的臺階測量重復性，讓測量數據萬千如一。可測反射率：覆蓋近0%~100%的表面反射率。
2、VT6000系列共聚焦顯微鏡尖銳傾角形貌測量能力，讓復雜結構清晰明了；二維影像尺寸測量，平面輪廓尺寸自動計算。
高端制造業中，中圖儀器通用性超精密3D光學測量儀器能做什么？
1、半導體-鐳射槽
2、超精密加工-微透鏡陣列
3、光學加工-超光滑球面
4、摩擦學-金屬腐蝕摩擦
5、拋光研磨-超光滑表面
6、汽配行業-零部件端面
7、顯示行業-光學膜片
8、光伏行業-太陽能電池片
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