資料介紹
首先,分析塑性襯底應力對沉積薄膜的穩定性的影響。因襯底和封裝薄膜的熱膨脹系數不同而產生,并隨薄膜沉積溫度的升高而增大。當塑性襯底上的薄膜有應力時就容易脫落或破裂,如果沒有粘附損失,封裝薄膜和塑料襯底間發生的相對熱膨脹將導致塑料薄膜產生彎曲。其次,調查塑料熱膨脹系數對沉積薄膜的穩定性的影響??偟膩碚f,大多數塑料的熱膨脹系數是SiNx的10倍。由于這種巨大的差異,破裂、脫落及彎曲成了塑料襯底顯示器制造中必須克服的問題。
2)低電壓高亮度白色有機電致發光器件的制備
本研究利用真空蒸發鍍膜系統制作各種器件。采用外部和內部CCM兩種方法,利用電致發光產生的藍光,去光致泵浦紅色染料薄膜,產生紅色的光致發光,最終合成白光,從而實現了低電壓、長時間驅動的高度穩定的白光有機器件。另外,通過對外部CCM膜的光刻,實現微顯示的圖案化。
3)柔性顯示器薄膜封裝新技術開發
與玻璃襯底相比,塑性襯底具有很高的透氣和透水性。襯底的高透氣性會導致器件的不穩定性。為了阻止塑料襯底的對氣體的吸收,可以采用SiO2、SiNx等薄膜可用來做氣體阻擋層。它們不僅阻止了塑料對氣體的吸入,還可提高金屬與襯底的粘結性。在本項研究中,將采用PECVD系統沉積SiO2或者SixNy等無機氣體阻擋層。通過沉積適當厚度的SiO2或者SixNy薄膜,可將氧和水蒸氣的透過率降低100倍。
在沉積氣體阻擋層之前,必須將塑料襯底在加熱到一個合適的溫度并保持一定的時間,比如說48小時,以除掉襯底中吸附的氣體和水蒸氣。這種預退火過程減小了塑料的體積。預退火后,即在襯底上沉積氣體阻擋層以阻止襯底進一步吸收氣體。
4)微納器件制造過程中多尺度力學分析
通過研究襯底-氣體阻擋層-微納器件層之間的特性,探討器件制備過程中界面的變化,同時利用Silvaco或者Anasys軟件模擬多尺度的力學過程。
2.1.3擬解決的關鍵科學問題
該項目的技術關鍵是如何利用DBR構造將薄膜封裝與高亮度結合、以及利用CCM技術將頂發射構造與白色發光結合,從而在柔性基底上制備一個穩定、高效、低能耗的白色有機OLED。
減少透明或者金屬電極與有機層之間的注入勢壘,提高空穴或者電子的注入效率,從而實現低電壓驅動的白色發光器件。在空穴或者傳輸層摻雜具有很強施主或受主性能的摻雜質,能夠大大降低器件的驅動電壓。
1)在電荷傳輸層形成電荷激基復合物,產生自由電荷,這種自由電荷將提高膜的導電率;
2)自由電荷的產生可能導致費米能級的改變,從而提高從金屬到有機層的隧道注入效率,甚至形成歐姆接觸。
3)自由電荷可以降低深陷阱對電荷的捕獲,從而提高有機層電荷的遷移率。
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