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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>顯示及光電>光刻光束線快門實驗系統(tǒng)及其快速光電轉(zhuǎn)換

      光刻光束線快門實驗系統(tǒng)及其快速光電轉(zhuǎn)換

      2010-12-13 | rar | 113 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      本文闡述了光刻光束線中的快門光柵系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)和工作原理． 井介紹了光電轉(zhuǎn)換中的一種新方怯—高阻甚，該方法在快速弱光信號的檢測中具有實際意義。
      光刻光束線的基本原理，是從加速器貯存環(huán)中的一個窗口引出同步幅射光子流， 取其軟X射線部分作為大豌集成電路的光刻光源， 這就要求；
      2．1．具備快門控期系統(tǒng)， 用于控捌爆光時間。
      2．2．具備鏡掃描功能， 以便將光柬線作均勻展寬， 取而實現(xiàn)較大面積的均勻光刻。

      光電轉(zhuǎn)換
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