資料介紹
本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是微電子工藝發(fā)展?fàn)顩r和微電子工藝特點(diǎn)與用途
集成電路從小規(guī)模集成電路迅速發(fā)展到大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路?從而使電子產(chǎn)品向著高效能低消耗、高精度、高穩(wěn)定、智能化的方向發(fā)展。

微電子工藝
是指用半導(dǎo)體材料制作微電子產(chǎn)品的方法、原理、技術(shù)。
不同產(chǎn)品的制作工藝不同
但可將制作工藝分解為多個(gè)基本相同的小單元
工序稱為單項(xiàng)工藝。
不同產(chǎn)品的制作就是將單項(xiàng)工藝按需要順序排列組合來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
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