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為了實(shí)現(xiàn)對多層薄膜結(jié)構(gòu)厚度進(jìn)行快速準(zhǔn)確的測量和無損定量評價(jià)，研制了二維光學(xué)相干層析（ Optical Coherence Tomo-graphy，OCT）系統(tǒng)，避免了傳統(tǒng)一維OCT系統(tǒng)逐點(diǎn)掃描導(dǎo)致成像效率低下的問題。闡述了去除OCT共軛鏡像理論，采用了五步相移干涉法，具體由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)參考鏡實(shí)現(xiàn)，做到了對OCT共軛鏡像的去除，避免出現(xiàn)OCT圖像的混疊。所研制的OCT系統(tǒng)具有極高的系統(tǒng)分辨率和較好的信噪比，可以實(shí)現(xiàn)對手機(jī)鋼化玻璃薄膜內(nèi)部四層結(jié)構(gòu)厚度（鋼化玻璃、靜電膠層l、防爆貼膜和靜電膠層2）進(jìn)行準(zhǔn)確測量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：白研制的系統(tǒng)可快速高精度地對多層薄膜結(jié)構(gòu)厚度進(jìn)行測量，可以推薦使用在多層薄膜的無損定量評價(jià)中。
薄膜
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