資料介紹
MEMS傳感器主要由MOS管組成,由于MOS管材料的物理特性及其制造工藝的因素,MEMS傳感器的輸出特性受溫度影響較大,輸出特性的不理想因素主要有零點誤差、靈敏度誤差以及非線性誤差,這些誤差需通過后接調理電路得以校準。標定過程中,需要用到如溫箱、壓力源等標定設備,此類設備大都采用PID控制,到達預設值并且穩定花費的時間較長。標定過程需測量的點數較多,人工讀取測量值存在一定的觀測誤差,步驟效率低且可靠性不高。
本文基于LabVIEW設計了一款傳感器的自動標定系統,結合多項式擬合法將溫度信息與傳感器的輸出特性完成數據融合進行信號校準,能自動標定校準傳感器,縮短標定校準的時間,提高了數據精度。

傳感器
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