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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>激光光刻技術(shù)與多光束納秒紫外激光制作硅表面微結(jié)構(gòu)的介紹

      激光光刻技術(shù)與多光束納秒紫外激光制作硅表面微結(jié)構(gòu)的介紹

      2017-11-13 | rar | 2.2 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　使用波長３５１ｎｍ 的半導(dǎo)體泵浦全固態(tài)脈沖激光器作為光源，經(jīng)過位相光柵分束，形成干涉光場，在硅表面直接刻蝕微結(jié)構(gòu)，制作了周期為０．５５μｍ，槽深可達５５ｎｍ 的一維微光柵和周期為１．２５μｍ，刻蝕深度４５ｎｍ 的正交微光柵結(jié)構(gòu)．給出了微光柵形貌結(jié)構(gòu)的掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡的測量結(jié)果．正交微光柵的一級衍射效率在１．８％～６．３％之間．該研究是改變硅表面微結(jié)構(gòu)，優(yōu)化硅材料特性的一種新方法，并擴展了大功率激光刻蝕在表面微加工領(lǐng)域的應(yīng)用。

      　　本文采用半導(dǎo)體泵浦全固態(tài)脈沖激光器作為光源，分別用雙光束和四光束進行了干涉刻蝕實驗，在硅材料表面制作了一維和二維正交微光柵結(jié)構(gòu)．這種在硅表面直接進行微加工的方法，工藝簡潔，運行效率和刻蝕微結(jié)構(gòu)精細(xì)程度較高。

      激光光刻技術(shù)與多光束納秒紫外激光制作硅表面微結(jié)構(gòu)的介紹

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