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摘要：首先總結(jié)了lO0多年來(lái)霍爾效應(yīng)應(yīng)用的三個(gè)階段，然后介紹各種集成霍爾元件、集成霍爾傳感器的原理、結(jié)構(gòu)、特性和應(yīng)用，最后論及到當(dāng)前新型的量子、等離子霍爾傳感器。對(duì)霍爾傳感器的發(fā)展趨勢(shì)和特點(diǎn)進(jìn)行了總結(jié)。
關(guān)鍵詞：霍爾傳感器? 集成傳感器 霍爾效應(yīng) 發(fā)展動(dòng)向
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