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用偽譜算法對電容壓力微傳感器極板膜在均勻載荷條件下的彎曲行為作了數值模擬, 敘述了偽譜算法原理, 并將其用于微傳感器的載荷與電容關系分析. 對于非接觸式電容壓力微傳感器, 只有在小載荷(引起的最大垂向位移甚小于極板膜厚度)的條件下, 才可以忽略作用于極板膜的中平面的張力, 此時, 微傳感器的電容與載荷之間呈線性關系. 當進一步增加載荷時, 兩者的關系呈非線性, 電容隨載荷的增大迅速增加. 對于接觸式電容壓力微傳感器, 給出了接觸半徑的計算公式, 數值計算了載荷與電容關系曲線, 為壓力微傳感器分析和設計提供了理論依據.
關鍵詞 偽譜算法 電容壓力微傳感器 載荷與電容關系
關鍵詞 偽譜算法 電容壓力微傳感器 載荷與電容關系
壓力傳感器
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