動態(tài)

• 發(fā)布了文章 2025-09-19 18:03

  基于光譜橢偏術的多層結構介質衍射光柵表征研究

  

  在集成光學與光子器件研究中，介電衍射光柵是耦合布洛赫表面波等導模的關鍵元件，但其亞微米尺度的幾何參數難以通過顯微技術精確表征。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本研究采用光譜橢偏術（SE）對制備于布洛赫表面波（BSW）支撐多層結構上的亞微米周期介質光柵進行光學表征與建模，在建模

  光子器件 光譜 耦合器

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• 發(fā)布了文章 2025-09-17 18:03

  衍射光學元件DOE：臺階高度與位置誤差的測量

  

  衍射光學元件（DOE）因其在波前調制和色差校正方面的優(yōu)勢，廣泛應用于紅外光學系統(tǒng)等領域。然而，其非連續(xù)面形結構（如相位突變點和臺階高度）使得傳統(tǒng)檢測方法難以滿足精度要求。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準測量解決方案，Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生產效

  DOE 光學元件 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-09-15 18:02

  橢偏儀選型指南 | 橢圓偏振法與反射法的優(yōu)劣對比

  

  橢圓偏振法和反射法是用于表面分析和薄膜表征的光學測量技術。這兩種方法都依賴于光反射：橢圓偏振法分析反射光偏振狀態(tài)的變化，反射法則測量其強度。橢圓偏振法和反射法之間的選擇取決于測量原理、靈敏度和數據解釋要求。每種技術在材料科學和表面分析中都有特定的作用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學

  光學測量 半導體 薄膜材料

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• 發(fā)布了文章 2025-09-12 18:10

  汽車玻璃透光率≥70%的吸水防霧微米膜層的制備

  

  汽車玻璃的防霧功能是保障駕駛安全的關鍵，當前前檔玻璃可通過空調、后檔玻璃可通過電加熱實現防霧，但邊窗玻璃因結構限制（多為單層鋼化玻璃），現有防霧手段均不適用。同時，已有的防霧材料普遍存在耐候性差、耐磨性不足、易黃變等問題，難以滿足汽車玻璃長期使用需求。本研究設計雙層結構吸水防霧膜，通過分層功能分工實現高效防霧與穩(wěn)定性能。通過Flexfilm汽車玻璃透過率檢測

  材料 檢測儀 汽車

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• 發(fā)布了文章 2025-09-10 18:04

  臺階儀在大面積硬質涂層的應用：精準表征形貌與蝕刻 / 沉積結構參數

  

  PVD硬質涂層的表面形貌直接影響其摩擦學、潤濕性等功能性能，而精準表征形貌特征是優(yōu)化涂層工藝的關鍵。臺階儀因可實現大掃描面積的三維形貌成像與粗糙度量化，成為研究PVD涂層形貌的核心工具。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準測量解決方案，Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料

  儀器 測量 薄膜厚度

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• 發(fā)布了文章 2025-09-08 18:02

  橢偏儀在半導體薄膜厚度測量中的應用：基于光譜干涉橢偏法研究

  

  薄膜厚度的測量在芯片制造和集成電路等領域中發(fā)揮著重要作用。橢偏法具備高測量精度的優(yōu)點，利用寬譜測量方式可得到全光譜的橢偏參數，實現納米級薄膜的厚度測量。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。為解決半導體領域常見的透明硅基底上薄膜厚度測量的問題并消除硅層的疊加信號，本文提出基于光譜干

  半導體 厚度測量 薄膜

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• 發(fā)布了文章 2025-09-05 18:03

  臺階儀精準測量薄膜工藝中的膜厚：制備薄膜理想臺階提高膜厚測量的準確性

  

  固態(tài)薄膜因獨特的物理化學性質與功能在諸多領域受重視，其厚度作為關鍵工藝參數，準確測量對真空鍍膜工藝控制意義重大，臺階儀法因其能同時測量膜厚與表面粗糙度而被廣泛應用于航空航天、半導體等領域。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準測量解決方案，Flexfilm探針式臺階儀可以精確多種薄膜樣品的薄膜厚度。臺階儀法需在薄膜表面制備臺階，通過測量臺階高度反推膜厚。然

  儀器 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-09-03 18:04

  橢偏儀在集成電路檢測中的應用：以標準樣品校準法校準橢偏參數

  

  橢偏術因其高靈敏度、非接觸與在線測量能力，已成為薄膜與IC工藝檢測的重要手段。但儀器的準確性依賴系統(tǒng)中偏振元件與幾何參數的精確校準，且在工業(yè)環(huán)境中這些參數會隨時間與環(huán)境漂移變化——因此需要快速、簡單且準確的校準方法以維持儀器性能。傳統(tǒng)校準方法（如雙區(qū)域法）在實施上復雜且不易在生產線上周期性重復。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精

  檢測 薄膜材料 集成電路

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• 發(fā)布了文章 2025-09-01 18:01

  汽車玻璃隔熱膜技術方案的對比：汽車玻璃透光率檢測分析

  

  汽車玻璃在采光、擋風和遮雨方面具有重要作用，但普通玻璃對紫外線和紅外線阻隔性差，導致車內溫度升高、空調能耗增加、車內設施老化速度加快。為解決這一問題，汽車玻璃隔熱膜應運而生，要求在可見光透射率不低于75%的前提下，具備高紅外反射率和紫外隔斷能力。目前研究主要集中在隔熱貼膜、ITO透明導電膜、可熱彎銀基低輻射膜、透明隔熱涂料及溶膠-凝膠鍍膜等方向，其中Flex

  儀器 檢測 汽車

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• 發(fā)布了文章 2025-08-29 18:01

  薄膜測厚選臺階儀還是橢偏儀？針對不同厚度范圍提供技術選型指南

  

  在現代工業(yè)與科研中，薄膜厚度是決定材料腐蝕性能、半導體器件特性以及光學與電學性質的關鍵參數。精準測量此參數對于工藝優(yōu)化、功能材料理解及反向工程都至關重要。其中，臺階儀通過直接測量薄膜與暴露基底之間的物理高度差，為實現厚膜層的簡單、直接測量提供了經典方案。而光譜橢偏儀則利用光與薄膜相互作用的偏振態(tài)變化，兼具非破壞性、快速測量與提取材料光學常數的優(yōu)勢，成為表征透

  半導體器件 測厚 薄膜

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