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多軸驅動器如何實現高速運行與高精控制雙突破

? 來源:jf_65284078 ? 2025-09-16 17:40 ? 次閱讀
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以直線電機為代表的直驅技術是解決精密生產中高精度、高吞吐量要求的必經之路,精密設備的的驅動控制架構構建也要同時滿足系統兼容和特殊結構的復雜要求。在精密運動平臺領域,分布式多軸驅動器成為了解決關鍵問題的熱門產品。

什么是多軸驅動器

分布式總線型驅動器是當今自動化系統的總體趨勢,DSP+FPGA是一種常見的驅動器信號處理架構。如果讓一組次架構的運算核心同時處理多軸的伺服閉環運算,則構成了一套多軸伺服驅動器。充足的運算能力可以讓驅動器同時處理單軸、雙軸或多軸的閉環算法和高速信號處理。

為什么需要多軸驅動器?

多軸驅動器共享硬件算力、共享母線驅動電路的做法,減少了PCBA制造成本、母線電路元器件成本,是一種經濟、節省空間的有效方法。

典型應用有哪些?

小型儀器設備

小型微動儀器設備對運動精度和體積都具有較高要求,小型多軸驅動器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數、精巧的單體設計。

XYZ模組

反饋映射

小型微動儀器設備對運動精度和體積都具有較高要求,小型多軸驅動器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數、精巧的單體設計。

AGD系列

龍門控制

軸間耦合及虛擬軸控制

對比軸間通訊方式的龍門控制,多軸驅動器的龍門控制方案具有高控制帶寬、高同步的特點,可以輕松實現剛性、柔性龍門軸的行走軸控制和扭擺軸控制。能夠實現更高的運動速度和更高的控制精度,同時降低了接線復雜程度和調試流程。

龍門控制

晶圓量檢測——光學調平/調焦模塊(ZTT模塊)

對于半導體領域常用的晶圓載臺,需要將多個Z向電機耦合成常用的Z、Rx、Ry軸進行高度和傾斜姿態的調整。多軸驅動器提供了DSP層面的耦合算法,具更備高的控制帶寬和更容易使用的控制接口

雅科貝思提供八軸驅動一體方案,能夠實現高精度平臺和Wafer載臺的整體控制。

雅科貝思 PGS-ZTPR 調平/調焦模塊

AGM系列

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