為了更有效地協助我們的客戶，我們特別整理了一份高頻LDLS問題合集，旨在更全面、細致地解答大家所關心的疑問。希望通過這份精心準備的內容，能夠更好地滿足大家的需求，提升問題解決的效率。

1、LDLS光源的功率和亮度可以到多少?

LDLS針對高亮度方面進行了優化，LDLS光源的功率從一個百微米量級左右的等離子體發出，所以LDLS光源可以利用較小的輻射功率發出高亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm2/sr)的光。幾種LDLS光源輻射功率和亮度選擇如下：

2、EQ-99XFC可以輸出多強的光功率?

EQ-99X-FC的輸出光功率受光纖纖芯直徑、光纖纖芯材料、以及光纖包殼做工質量的影響，建議采用我司的耐熱處理的標準光纖，其輸出光功率具體如下：

3、EQ-99XFC光譜輻射強度可以到什么范圍?

EQ-99X-FC的輸出光功率受光纖纖芯直徑、光纖纖芯材料、以及光纖包殼做工質量的影響，長度1m的標準光纖輸出光譜輻射強度如下圖所示。

4、什么是LDLS光源等離子體空間穩定性?

LDLS光源等離子體空間位置由激發激光聚焦點精準控制，LDLS產品等離子體位置在x，y，z三個方向上的分布偏差均小于0.5 μm。

5、LDLS光源壽命可以到多久?

EQ-99系列和EQ-77系列光源在標準建議工作狀態下壽命均在10000小時以上。另外，光源工作1000小時以后，燈泡的輸出功率只會衰減1%~2%。

6、什么時候使用LDLS光源需要充氮氣，氮氣的氣壓需要多少?

LDLS光源產生大量深紫外光，200 nm以下的深紫外光會使氧氣轉化為臭氧，同時臭氧會吸收240 nm~270 nm的深紫外光。因此，如需使用170 nm~270 nm的深紫外光，光源在使用時需要充入純凈氮氣。同時，充入氮氣也可以防止燈泡被空氣中有機蒸汽污染。為了保證光學器件的潔凈，氮氣需要滿足6級潔凈度。

7、能否提供LDLS光源的光學模型供光學系統設計?

目前LDLS系列的部分型號針支持提供外部機械結構與光學模型參數，如有需要請聯系濱松相關工程師。在設計初期請參考各光源輸出數值孔徑參數完成光路設計：EQ-9的數值孔徑為0.5。EQ-99X的數值孔徑為0.47，EQ-77的數值孔徑為0.5，EQ-400的數值孔徑為0.5。EQ-850的數值孔徑為0.58。EQ-99X-FC為光纖耦合輸出，其中SMA光纖的數值孔徑為0.22。

8、EQ-99X能否配置SMA光纖輸出接口?

可以配置SMA光纖輸出接口。但是目前，標準的SMA光纖接口穩定性要比FC接口差很多，需要尋找高性能SMA光纖接口，所以使用SMA光纖輸出接口的EQ-99X比EQ-99XFC成本要高很多。

9、LDLS在使用時，除了充氮氣，能否充其他氣體?

不可以。只有潔凈、干燥的氮氣能在LDLS光源中使用。

10、LDLS能否在使用的時候放進真空的環境?

不可以。LDLS系統不能支持真空的使用環境，放進真空環境可能會對光學結構造成損害。

11、LDLS光源的預熱時間?

建議在進行測量之前進行大約30分鐘的預熱，以確保LDLS光源已經達到熱平衡。具體應用測量的實際預熱時間可能更長或更短，這取決于要進行測量的精度。

12、EQ-99X在開機時燈室的放置方向。

EQ-99X使用時燈室只能安裝在包含序列號的標簽朝下的位置。

13、EQ-99 Manager的功能

EQ-99 Manager可以進行光源開關的程序控制，光源運行時間統計，外部快門控制。其中，EQ-99 Manager自帶快門，快門可以通過機械轉接件與EQ-99X連接，快門周期、曝光時間均可以通過程序設置。

14、LDLS上標的15 W、10 W是指什么?

指的是電功率。

審核編輯 黃宇