大連理工大學(xué)發(fā)布氮化鎵氣體傳感器專(zhuān)利
大連理工大學(xué)在2024年3月公開(kāi)發(fā)表了一項(xiàng)名為“氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應(yīng)用”的專(zhuān)利，編號(hào)為CN117761126A。
該發(fā)明的核心在于一種以氮化鎵薄膜為主要材料的氣體傳感器的制備與運(yùn)用。其制法包括：首先，通過(guò)對(duì)襯底進(jìn)行鍍膜工藝生成非晶氮化鎵薄膜，然后將其加熱至特定溫度，使之轉(zhuǎn)化為多晶氮化鎵薄膜；接著，利用濕法腐蝕技術(shù)，在多晶氮化鎵薄膜表面形成多孔結(jié)構(gòu)，最后，使用光刻及圖案化工藝在這一具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底上制作出叉指電極圖形作為最終產(chǎn)品。該設(shè)計(jì)以特殊的叉指電極圖形為基礎(chǔ)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)氨氣的高靈敏度、低檢測(cè)限及高敏選擇性的要求。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫(xiě)或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀(guān)點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系本站處理。
舉報(bào)投訴
-
薄膜
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
360瀏覽量
46168 -
氣體傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
14文章
607瀏覽量
39180 -
氮化鎵
+關(guān)注
關(guān)注
67文章
1893瀏覽量
119791
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
北京理工大學(xué)集成電路與電子學(xué)院和紫光同創(chuàng)國(guó)產(chǎn)FPGA課賽結(jié)合實(shí)驗(yàn)室揭牌
2月5日，北京理工大學(xué)集成電路與電子學(xué)院-紫光同創(chuàng)“國(guó)產(chǎn)FPGA課賽結(jié)合實(shí)驗(yàn)室”揭牌儀式在北京理工大學(xué)集成電路與電子學(xué)院4號(hào)教學(xué)樓301教室隆重舉辦！
新加坡南洋理工大學(xué)到訪(fǎng)水晶光電參觀(guān)交流
1月30日至2月1日，新加坡南洋理工大學(xué)（NTU）副校長(zhǎng)（終身學(xué)習(xí)與校友聯(lián)系）Waifong Boh教授率30余位EMBA校友到訪(fǎng)水晶光電，開(kāi)展為期三天的深度參訪(fǎng)、文化溯源與交流研討活動(dòng)。此次跨國(guó)
長(zhǎng)春理工大學(xué)領(lǐng)導(dǎo)一行蒞臨聯(lián)合光電參觀(guān)交流
12月26日，長(zhǎng)春理工大學(xué)黨委副書(shū)記周慶才、就業(yè)創(chuàng)業(yè)指導(dǎo)中心主任賈彥彬等一行蒞臨聯(lián)合光電參觀(guān)交流。聯(lián)合光電創(chuàng)始人謝晉國(guó)、人事總監(jiān)甘露熱情接待并全程陪同，雙方圍繞深化產(chǎn)教融合、拓寬人才輸送渠道展開(kāi)深入探討。
合眾思?jí)雅c河南理工大學(xué)達(dá)成戰(zhàn)略合作
12月18日，北京合眾思?jí)芽萍脊煞萦邢薰荆ㄒ韵潞?jiǎn)稱(chēng)“合眾思?jí)选保┡c河南理工大學(xué)戰(zhàn)略合作簽約儀式圓滿(mǎn)舉行。河南理工大學(xué)學(xué)術(shù)副校長(zhǎng)金雙根、測(cè)繪與國(guó)土信息工程學(xué)院黨委書(shū)記張紅霞、院長(zhǎng)袁占良，合眾思?jí)芽偨?jīng)理朱興旺、首席科學(xué)家沈軍，以及雙方相關(guān)部門(mén)負(fù)責(zé)人等共同出席了簽約儀式。
晟矽微電與上海理工大學(xué)深化產(chǎn)學(xué)研合作
12月16日，上海理工大學(xué)光電學(xué)院副院長(zhǎng)高秀敏率專(zhuān)家教師團(tuán)到訪(fǎng)晟矽微電總部，開(kāi)展校企聯(lián)動(dòng)交流，共話(huà)產(chǎn)教融合新篇章。
探訪(fǎng)大連理工大學(xué)2.8萬(wàn)平方米電子實(shí)驗(yàn)室
帶著這樣的疑問(wèn)我們走進(jìn)大連理工大學(xué)，那里有一片屬于創(chuàng)造者的圣地——?jiǎng)?chuàng)新創(chuàng)業(yè)學(xué)院。推開(kāi)那扇門(mén)，就仿佛踏進(jìn)了一座微縮的未來(lái)工業(yè)城市，這里提供的不是模擬體驗(yàn)，而是真正的“工業(yè)級(jí)”實(shí)戰(zhàn)環(huán)境。
大連理工在單光子精密光譜測(cè)量領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
圖a.單光子雙梳鬼成像光譜技術(shù)基本原理。圖b.單光子雙梳鬼成像光譜實(shí)驗(yàn)裝置圖。 近日，大連理工大學(xué)光電工程與儀器科學(xué)學(xué)院梅亮教授團(tuán)隊(duì)攜手之江實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)國(guó)峰研究員團(tuán)隊(duì)在單光子精密光譜測(cè)量領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
中汽中心赴武漢理工大學(xué)走訪(fǎng)交流
2025年11月6日，中汽中心黨委副書(shū)記王曉杉一行赴武漢理工大學(xué)走訪(fǎng)交流，與武漢理工大學(xué)黨委常委、副校長(zhǎng)胡劍就進(jìn)一步深化校企合作進(jìn)行交流座談。
上海理工大學(xué)師生一行走進(jìn)簡(jiǎn)儀科技總部
10月15日，上海理工大學(xué)師生一行走進(jìn)簡(jiǎn)儀科技 (JYTEK) 總部，參加“醫(yī)學(xué)人工智能實(shí)踐教育基地”揭牌儀式暨首場(chǎng)AI實(shí)訓(xùn)活動(dòng)。本次活動(dòng)由上海理工大學(xué)健康與工程學(xué)院主辦，簡(jiǎn)儀科技承辦，標(biāo)志著校企雙方在人工智能與智能測(cè)控教育融合上的合作正式落地。
北京理工大學(xué)生命學(xué)院：研發(fā)新型電化學(xué)生物傳感器，聚焦血糖監(jiān)測(cè)技術(shù)突破
detection of glucose in whole blood”的研究論文，該工作創(chuàng)新性地提出了一種基于Ni?(HITP)?-MOF與新型抗污材料的分子印跡電化學(xué)傳感器，實(shí)現(xiàn)了全血中葡萄糖的直接檢測(cè)，為生物傳感技術(shù)的發(fā)展提供了新思路與新方法。 該工作以北京
華東理工大學(xué)信息學(xué)院校友會(huì)走訪(fǎng)兆芯
近日，華東理工大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院（簡(jiǎn)稱(chēng)“華東理工大學(xué)信息學(xué)院）校友會(huì)組織近20名校友走訪(fǎng)上海兆芯集成電路股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“兆芯”），開(kāi)啟了一場(chǎng)兼具專(zhuān)業(yè)深度與實(shí)踐溫度的探“芯”之旅。
上海理工大學(xué)師生一行蒞臨意瑞半導(dǎo)體參觀(guān)交流
近日，上海理工大學(xué)師生42人前來(lái)參訪(fǎng)意瑞半導(dǎo)體（上海）有限公司。旨在深化校企交流，助力高校學(xué)子了解半導(dǎo)體行業(yè)前沿動(dòng)態(tài)與企業(yè)發(fā)展實(shí)踐。
香港理工大學(xué)選購(gòu)我司HS-TGA-101熱重分析儀
近日，香港理工大學(xué)成功采購(gòu)我司的HS-TGA-101熱重分析儀，為其科研工作注入強(qiáng)大動(dòng)力。此次合作，標(biāo)志著雙方在材料科學(xué)、化學(xué)工程等多領(lǐng)域研究上邁向新高度。?香港理工大學(xué)熱重分析儀作為科研關(guān)鍵設(shè)備
北京理工大學(xué)：研究眼機(jī)界面智能傳感硬件——從可穿戴到仿生
、功耗（SWaP）及生物兼容性上面臨瓶頸，而新型功能材料正通過(guò)柔性透明設(shè)計(jì)、多模態(tài)傳感和集成策略，推動(dòng)傳感器向小型化、低功耗和高性能發(fā)展。鑒于此， 北京理工大學(xué) 沈國(guó)震 、 王卓然 團(tuán)隊(duì)基于現(xiàn)有研究基礎(chǔ)， 面向眼動(dòng)追蹤、生物醫(yī)療
中軟國(guó)際助力北京理工大學(xué)珠海校區(qū)展開(kāi)科研創(chuàng)新
近日，中軟國(guó)際助力北京理工大學(xué)(珠海)基于華為云昇騰AI云服務(wù)DeepSeek滿(mǎn)血版大模型展開(kāi)科研及教學(xué)創(chuàng)新。北京理工大學(xué)(珠海)經(jīng)濟(jì)監(jiān)督大模型團(tuán)隊(duì)將DeepSeek等前沿技術(shù)應(yīng)用至哲學(xué)社會(huì)科學(xué)研究中，為經(jīng)濟(jì)監(jiān)督更好地推動(dòng)國(guó)家治理現(xiàn)代化及其法律保障機(jī)制的優(yōu)化提供技術(shù)支撐。
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論