太陽能電池生產環節中，清洗制絨是重要的環節之一，制絨的工藝流程的優化和技術升級能提高太陽能電池的轉換效率，降低生產成本。制絨絨面的形成受到NaOH的濃度、停留時間、過程中溫度等等因素的影響。美能3D共聚焦顯微鏡，專為光伏行業而生，能夠測量亞微米級的形貌起伏，可以手動亦可自動測量金字塔絨面的整體形狀，單個金字塔的形狀和高度也能高精度呈現，滿足客戶的測試需求。

硅片為何需要制絨？首先清洗制絨這個環節可以去除硅片表面的污漬，降低不良品的出現。其次較好的金字塔，一定是小而均勻的，且布滿整個硅片表面，這增加了硅片表面積，也意味著增加了PN結的面積。

最重要的是制絨可以形成起伏不平的絨面，使之產生陷光效應，增加硅片對太陽光的吸收，降低硅表面的光反射率，提高短路電流Isc，使光最大限度的被利用轉化為電能。單晶硅片制絨前后表面反射率

制絨的最佳效果在合適的腐蝕速率下，成核與生長達到一個平衡，形成大小合適、結構完整且密布整個硅片表面的金字塔結構，此時的金字塔結構較為優化，減反效果最好。

如果腐蝕速率較高，金字塔的生長會大于成核，表現的絨面結構為大金字塔，且表面有未成核處，金字塔之間的空隙增大了表面反射率。當腐蝕速度過低時，金字塔成核大于生長，表現為結構不完整、密而層疊的金字塔。

腐蝕速率快慢由三個反應速度來決定，一是腐蝕液流至被腐蝕物表面的移動速率；二是腐蝕液與被腐蝕物表面產生化學反應的反應速率；三是生成物從被腐蝕物表面離開的速率。

制絨的影響因素

1.NaOH濃度影響

NaOH濃度對硅片反應速率有重要影響。制絨過程中，由于所用NaOH濃度均為低堿濃度，隨NaOH濃度升高，硅片腐蝕速率相對上升。與此同時，隨NaOH濃度改變，硅片反應的AF也發生改變，因此，NaOH濃度對金字塔的角錐度也有重要影響。不同NaOH濃度下的絨面顯微鏡圖

2.溫度影響

溫度過高，反應AF值下降，絨面連續性降低，同時腐蝕速率過快，控制困難；

溫度過低，則腐蝕速率過慢，制絨周期延長，通常制絨溫度控制在75℃-85℃。不同溫度下的絨面顯微圖

3.時間影響

制絨包括金字塔的形核及長大過程，因此制絨時間對絨面的形貌及硅片腐蝕量均有重要影響，下圖為不同制絨時間后絨面顯微情況；不同制絨時間的絨面顯微圖

美能3D共聚焦顯微鏡是以光學技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數量進行定量檢測，以反饋其中的清洗制絨、絲網印刷工藝質量。

• 精確可靠的3D測量，實現實時共聚焦顯微圖像

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全自動柵線絨面測量，快速生成數據

美能3D共聚焦顯微鏡-金字塔絨面測量視頻

ME-PT3000 3D共聚焦顯微鏡專用于光伏行業對光伏電池片表面的柵線及絨面進行質量檢測的光學儀器。以光學技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對光伏電池片上的柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數量進行定量檢測，以反饋光伏電池片清洗制絨、絲網印刷工藝質量。