隨著超精密加工技術的不斷進步，各種微納結構元件廣泛應用于超材料、微電子、航空航天、環境能源、生物技術等領域。其中超精密3D顯微測量技術是提升微納制造技術發展水平的關鍵，中圖儀器自主研發的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術，廣泛應用于涉足超精密加工領域的三維形貌檢測與表面質量檢測方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結構復雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構與檢測方面具有不俗的表現。

一.結構深、角度大

電子產品中一些光學薄膜表面存在一些特殊的微結構，這些結構表現為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測量此類結構時，由于形貌陡峭、角度大，無法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過窄而無法準確地解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀。

三棱鏡

棱鏡

倒三角

二.反射差、信號弱/xi
碳纖維紙類的表面反射率極低，結構復雜且呈立體狀。白光干涉儀因其對樣品表面反射形成的干涉條紋光信號對比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大，導致部分位置因反射率極低形成的干涉條紋對比度較低甚至無法形成干涉條紋，從而難以解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現出其特有的弱光信號解析能力優勢，對樣件表面的低反射率特性適應能力更強。

碳纖維紙

光伏板絨面

中圖儀器以其自主研發的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構成光學3D顯微測量領域的姊妹雙姝，為國內超精密加工與微納制造領域提供更全面、更專業的3D顯微形貌檢測方案。中圖儀器是一家專業的幾何量測量儀器制造商，旗下有專門的微納檢測儀器事業部，目前有SuperView系列光學3D表面輪廓儀、VT6000系列共聚焦顯微鏡、CP系列臺階儀等三大類納米級3D測量產品。憑借著多年在客戶端應用場景下的錘煉，在3D顯微測量領域積累了豐富的開發與應用經驗。多年的自主開發工作，公司在納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術、尼普科夫轉盤共聚焦系統、超分辨率電容傳感掃描技術、超大區域無縫縫合技術等多個涉及到光、機、電、算交叉學科的領域積累了雄厚的技術實力。參與過多項國家重大科研項目的攻關工作并順利通過驗收。作為一家銷售服務網絡遍布全國的微納檢測儀器制造商，中圖儀器始終致力于為客戶提供專業的技術服務和優質的產品解決方案。