三坐標測量方法的步驟如下：

1、校驗測頭，將測頭的直徑誤差控制在-3個微米以內，形狀誤差控制在正負3個微米以內，進入測量模式畫面。

2、先測工件的一個平面，將這個平面設為一個基準平面A，再 測一條線，設為基準B，再測一個點作為基準C。

3、開始測工件所需尺寸，通過關系轉換可以得出結果，測量工件的外形尺寸，可以通過點與點之間的距離，在“構造”窗口里，選擇“構造-條線”按鈕來得出結果，因為線與線之間得不出這個結果。

4、找基準原點C時，還可用工作分中的相交點作為C基準，這個方法是，先測工件的四條線，在“構造”窗口中，選擇“構造對稱線”按鈕，再選擇對稱兩條線之間的關系。

這兩條對稱線之間的中心線就出來了，另外兩條線方法一樣，完成之后，在“關系”里，選擇兩條中心線，交點會顯示出來，選這個交點作為基準 C。其中任意一條中心線還可以作為基準B。

5、查看形位公差，要注意先選基準再選被測。

6、孔的位置度，如果有配合的情況下選MMC最大實體，沒有配合的情況下選S獨立原則，在孔測完成之后，要輸入理論值（即名義值），也就是圖紙上要求的公差范圍，機器會自動算出合格與否。