工業(yè)自動化是在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用自動控制、自動調(diào)整裝置，用以代替人工操縱機器和機器體系進行加工生產(chǎn)的趨勢。隨著智能制造的發(fā)展，人機交互、自動化、智能化應(yīng)用水平不斷提高，對裝備制造的工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高，加之工業(yè)自動化控制產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展，從而拉動了對工業(yè)產(chǎn)品的需求。

工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務(wù)，它正朝著一個新的方向邁進。對品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加，使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件。但是小批量和批量生產(chǎn)會給組織帶來巨大的成本，企業(yè)可在工業(yè)自動化領(lǐng)域探索新技術(shù)和新機遇，這機遇便是微電子機械系統(tǒng)（MEMS）。繼機電一體化之后，便是微型機電一體化的時代。

MEMS體現(xiàn)了一種先進的半導(dǎo)體技術(shù)，它包括單個芯片上的移動元件和電子元件，它致力于將集成電路（IC）制造技術(shù)（如互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）、BiCMOS（雙極結(jié)晶體管和CMOS技術(shù)的集成）與創(chuàng)新的硅微加工444結(jié)合在一起。

MEMS技術(shù)提供的可靠性、可擴展性、靈敏度和成本效益高的解決方案為工業(yè)自動化領(lǐng)域提供了大量的MEMS應(yīng)用機會。

工業(yè)微型機電一體化時代則是MEMS技術(shù)對工業(yè)機器人尤其有利，因為該技術(shù)可以應(yīng)用于觸覺傳感器、導(dǎo)航或接近傳感器。由于商業(yè)可行性較低的趨勢以及某些非MEMS近距離傳感技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的根深蒂固，在將MEMS技術(shù)應(yīng)用于制造接近或位置傳感器方面的研究受到限制。然而，MEMS技術(shù)允許開發(fā)或生產(chǎn)成本較低的觸覺傳感器，使機器人能夠獲得感官信息，以便以更通用、自主的方式做出決策和執(zhí)行動作。微型化的趨勢為多傳感器在機器人、制造過程、過程控制以及生物技術(shù)和生命科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用帶來了機遇。

MEMS的關(guān)鍵技術(shù)驅(qū)動因素

MEMS

成本：最初采用MEMS技術(shù)的主要驅(qū)動因素是成本。MEMS技術(shù)具有降低成本的巨大潛力，因為它可以很容易批量制造。例如，模擬設(shè)備公司的制造方法已經(jīng)標準化，每年能運送數(shù)百萬個加速計。與傳統(tǒng)的傳感器制造相比，該工藝流程簡化，且所需的勞動力更少。

多用戶MEMS工藝（MUMPS）是一種標準化的表面微機械加工技術(shù)，它是利用MEMSCAP中的多晶硅來制造MEMS器件的最廉價的制造技術(shù)之一。硅是制造MEMS器件的主要材料，它可以使MEMS制造非常經(jīng)濟高效，因此利潤非常可觀。

靈敏度提高：MEMS傳感器比傳統(tǒng)傳感器更敏感。這是MEMS傳感器優(yōu)于傳統(tǒng)傳感器的主要原因，尤其是在高精度和高精度的應(yīng)用中。

小尺寸優(yōu)勢：緊湊是電子或機械設(shè)備市場的主流趨勢。MEMS技術(shù)提供了在小面積內(nèi)填充更多MEMS組件的能力，這可以降低特定產(chǎn)品的整體尺寸。具有多種功能的MEMS組件可以增強產(chǎn)品的能力，例如工業(yè)機器人。

MEMS傳感器滲入廣泛應(yīng)用

推動工業(yè)自動化發(fā)展

MEMS

工業(yè)自動化是一個成熟的市場，有著成熟的流程。它也比大宗商品型傳感器的更高的體積市場對價格敏感；而且大多數(shù)工藝都是一次性投資。目前，基于MEMS的傳感器技術(shù)在這一領(lǐng)域的滲透往往局限于過程監(jiān)控應(yīng)用、工業(yè)安全、機械監(jiān)控，在裝配線制造應(yīng)用中也有一定程度的應(yīng)用。然而，隨著工業(yè)領(lǐng)域向智能化、分布式以及無線監(jiān)控方向發(fā)展，MEMS技術(shù)在這一領(lǐng)域可能發(fā)揮著越來越重要的作用。

MEMS支持的小型化和微機電一體化的趨勢正在推動工業(yè)應(yīng)用的組件、設(shè)備、系統(tǒng)和子系統(tǒng)的發(fā)展。然而，集中研究和發(fā)展努力，解決各種技術(shù)和科學(xué)問題，將有助于在其他領(lǐng)域的轉(zhuǎn)彎，并推動未來幾年工業(yè)自動化的發(fā)展。