2020年9月，由中國儀器儀表行業協會傳感器分會、中國儀器儀表學會傳感器分會、中國儀器儀表學會儀表元件分會、傳感器國家工程研究中心四個中國傳感器產業權威機構，聯合發布了《中國傳感器（技術、產業）發展藍皮書》。 因發表于2020年，部分數據比較陳舊，但文中所指問題及觀點，以及對我國傳感器產業的全面認識，均具有十分重要的參考價值，建議收藏、分享。 相信該報告是目前中國傳感器產業最權威的研究報告，由沈陽儀表院原院長、在傳感行業耕耘半個世界的徐開先主筆，十數位專家、學者參與撰寫、審核，目前行業所引用的許多數據、觀點、看法，均來自這份報告，報告中強調：傳感器的難點在于產業化，重點也在于產業化。 本文整理了藍皮書中一些關鍵內容：中國傳感器產業發展的歷程、傳感技術發展歷程、中國傳感器產業目前的情況、傳感技術發展7大趨勢、國產傳感器代表性企業、國產主要MEMS產線……等。文末附錄國內最具影響力傳感器企業盤點名單。

中國傳感器發展之路

傳感技術是新一代信息技術三大組成部分之一，是發展物聯網及其應用的關鍵和瓶頸，是發展中國裝備制造業的關鍵基礎元器件。其作用越來越被工業界、科技界、國防軍工、政府決策部門所認識和重視。

中國傳感器的發展走過了一段極不平坦之路：從無到有，從有到全，全而不強，機遇很多。對傳感器的認識上下基本趨于一致，轉變了“造船不如買船、買船不如租船”的思維模式，從“市場換技術”的迷霧中走出，正確理解“科技創新的主體在企業”這一觀點。經過幾代傳感器人的努力，風雨同舟，一路艱辛，成績巨大，業績卓然，問題不少，前景光明。

傳感器技術發展總覽：

傳感器各項技術發展歷程：

傳感器產品發展歷程：

我國傳感器產業發展歷程：

“七五”期間：在重視產品開發的同時，重視“中試生產”

在“工業過程自動控制”項目中，“敏感元件及傳感器開發”作為攻關課題進行攻關。

開發擴散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝，以及薄膜濺射工藝，厚膜漿料配制及元件刻蝕、調阻等傳感器制造的新工藝。

開發了17種新型敏感材料，使敏感材料依靠國外的局面有了很大的改善。

擴散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產品，進行了小批量生產，并在電站故障診斷系統等工程中應用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進行硅壓力傳感器的中試生產，產品的技術水平與當時國外同類產品水平相當。

“八五”期間：加強傳感技術研究，開展“批量生產研究”

“傳感器技術研究”列為國家科技攻關。以“3-5-3”的原則安排，即以工業控制、測試儀器和機電一體化為服務對象，選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關重點，形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、哈爾濱49所三個傳感器研發中心。

取得新技術、新工藝37項，開發了74個品種132規格的新產品，獲得國家專利15項。攻關期間銷售各類傳感器2360萬只，銷售收入13711萬元，創匯214萬美元。

首次開發了InSb磁敏薄膜和霍爾元件；小型廉價壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器等產品開始批量生產。

“九五”期間：“工程化研究”正式立項

“傳感器技術研究”繼續列為國家重點科技攻關項目。攻關以提高技術水平、可靠性水平和產業化程度為目標，以市場需求為導向，進行工程化、新產品開發、共性關鍵技術研究。

獲得科技成果59項，有6項成果進行了技術轉讓，取得專利32 項，其中發明專利7項。攻關期間累計銷售各類傳感器1260萬只，銷售收入25218萬元，創匯907萬美元。

工業變送器用硅壓力傳感器、OEM通用壓力傳感器、厚膜壓力傳感器、石英諧振式稱重傳感器、InSb霍爾元件、厚膜鉑電阻，α-Fe203可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器進行工程化研究，18個品種75個規格新型傳感器中試生產，年生產能力2257萬只，石英諧振式稱重傳感器的批量生產在國內外屬于首創，開發了兩大系列7個品種的電子衡器，建立了深圳清華傳感設備公司。

微機械加工（MEMS）工藝在壓力傳感器的生產中得到實際應用。解決了擴散硅芯片的穩定性和免補償工藝，提高了可補性、穩定性、一致性，成品率80%。實現4英寸片批量生產工藝。

InSb磁敏薄膜芯片的制備工藝由化合物蒸鍍過渡到In和Sb的單質蒸鍍，成品率達到60%，在南京中旭微電子公司進行生產。

完成了51個品種、72個規格的新產品開發。微壓傳感器、高溫硅集成開關、快響應電流傳感器、硅集成線性傳感器、電化學CO傳感器、低濃度NO2傳感器、長壽命高分子濕度傳感器、低功耗氣體傳感器、小型固態PH傳感器等新產品進行批量生產。在突破關鍵技術之后，建立了新疆傳感器公司和武漢湖北中邦電子有限公司，產業化生產超小型NTC熱敏電阻、過載保護用PTC熱敏電阻。

“十五”期間：“產業化研究”成為攻關重要內容

“先進制造基礎件開發研究和應用”中，傳感器產業化技術研究是該項目的重要攻關內容之一，列了三個專題，分別是：

——差壓、靜壓、溫度三參數一體化多功能傳感器產業化技術，為國內智能工業變送器配套。年生產能力達到2萬只；

——低功耗強磁體薄膜磁阻器件系列產品開發，為工業計量儀表配套。年生產能力達到50萬只；

——可靠性增長技術研究，實現上述兩種傳感器的可靠性增長。一體化多功能傳感器達到5萬小時，低功耗強磁體薄膜磁阻器件達到六級。

“十一五”至今

“傳感器的規模化產業化問題”成為傳感器的熱點，引起多方關注。

再識中國傳感器

分析中國傳感器體系建設、企業發展情況，分析傳感器產業鏈及市場狀況。結合傳感器代表性企業及新產品新技術，分析中國傳感器地位。

目前形成了以中科院研究所、國家重點實驗室、高等院校為核心的研發體系。以傳感器國家工程研究中心、企業為主體的產業體系。以物聯網、智能制造、人工智能、消費電子、民生工程等為對象的應用體系。

傳感器企業統計標準及分類情況：

傳感器生產制造型企業產品分類：

傳感器區域產業布局分析：

傳感器分類標準：

傳感器分類（按照檢測原理分類）：

傳感器產業鏈“基本”打通：

傳感器標準制訂工作卓有成效

初步統計，我國現行的傳感器國家標準97項（包括國軍標），行業標準125項，構建了傳感器標準體系，基本能滿足傳感器產業的需求。

可以估計，2019年中國傳感器市場銷售額大約1000億元人民幣（來源：前瞻產業研究院）：

國內傳感器代表性企業一覽：

此處可參看《權威發布！36家具有全國影響力的傳感器企業！（附全名單）》內容。

傳感器研發水平不斷提高，涌現了一批新技術：

中國傳感器（技術、產業）發展趨勢：

1、系統化

系統化指不把傳感器或傳感技術作為一種單獨器件或技術考慮，而是按照信息論和系統論要求，應用工程研究方法，強調傳感器和傳感技術發展的系統性和協同性。

將傳感器置于信息識別和處理技術的一個重要組成部分，將傳感技術與計算機技術、通信技術協同發展。必須系統地考慮傳感技術、計算技術、通信技術之間的獨立性、相融性、依存性。而智能網絡化傳感器正是這種發展趨勢的主要標志之一。

2、創新性

創新性主要包括利用新原理、新效應、新技術。

如利用納米技術，制作納米傳感器。與傳統傳感器相比，尺寸減小、精度提高、性能大大改善，為傳感器的制作提供了許多新方法。

利用量子效應研制具有敏感某種被測量的量子傳感器，像共振隧道二極管、量子阱激光器、量子干涉部件等，具有高速(比電子敏感器件快1000倍)、低耗(能耗比電子敏感器件低1000倍)、竊效、高集成度、高效益等優點。

利用新材料開發新型傳感器。如利用納米材料，制作的鈀納米112傳感器、金納米聚合物傳感器、碳納米聚合物傳感器、電阻應變式納米壓力傳感器。

利用納米材料的巨磁阻效應，科學家們己經研制出各種“納米磁敏傳感器”。研發特種用途、特種環境、特殊工藝的傳感器。如在高溫、高壓、耐腐蝕、強輻射等環境F的傳感器。

利用3D打印技術的傳感器。柔性傳感器，量子傳感器等。

3、微型化

在自動化和工業應用領域，要求傳感器本身的體積越小越好。

傳感器的微型性是指敏感元件的特征尺寸為“毫米(mm)—微米(um)—納米(nm)”類傳感器。這類傳感器具有尺寸上的微型性和性能上的優越性，要素上的集成性和用途上的多樣性，功能上的系統性和結構上的復合性。

傳感器的微型化決不僅僅是特征尺寸的縮微或減小，而是一種有新機理、新結構、新作用和新功能的高科技微型系統。其制備工藝涉及MEMS技術、1C技術、激光技術、精密超細加工技術等。

4、智能化

傳感器的智能化是指傳感器具有記憶、存儲、思維、判斷、自診等人工智能。其輸出不再是單一的模擬信號，而是經過微處理器后的數字信號，甚至具有執行控制功能。

技術發展表明：數字信號處理器(DSP)將推動眾多新型下一代傳感器產品的發展。隨著5G通信、大數據、AR、VR,云計算等的發展，以及機器人內動駕駛、人工智能等新技術應用，世界從原有的電了時代進入智能時代，傳感器也迎來一個新的智能化時代。

哲能傳感器廣泛應用于消費電子、新型高端汽車、工業檢測與控制、智能醫用、智能農業、智能交通等領域。

美國圣何塞的Accenture實驗室，研宄出一種叫“智能塵埃”的傳感器。該傳感器極其微小，能測溫度、濕度、光等參數，該傳感器中嵌入了微處理器、軟件代碼、無線通信系統，可以噴灑到樹上或其他物體上，當檢測到異常時，能發出信號，對所在地區進行監測。

5、無源化

傳感器多為非電量向電量的轉化，工作時離不開電源，在野外現場或遠離電網的地方，往往用電池或太陽能供電，研制微功耗的無源傳感器是必然的發展方向，既節省能源，又能提高系統壽命。

6、網絡化

網絡化是指傳感器在現場實現TCP/IP協議，使現場測控數據就近登臨網絡，在網絡所能及的范圍內實時發布和共享信息。要使網絡化傳感器成為獨立節點，關鍵是網絡接口標準化。目前己有“有線網絡化傳感器”和“無線網絡化傳感器”。

無線傳感器網絡是由布設在無人值守的監控區內，具有通信與計算能力的微小傳感器節點組成，根據環境自主完成指定任務的“智能”自治測控網絡系統。無線傳感器網絡是一種測控網絡。

7、產業化

加速形成傳感器從研發到產業化生產的發展模式，揭示傳感器產業化規律，成本、價格之間的辯證關系，產業化是中國傳感器真正走出象牙之塔的關鍵之步。

在設計技術、制造技術、產業化技術、應用技術四個方面與國外差距明顯：

國內傳感器沒有進入“重點領域、重點行業、重大工程”，沒有進入國民經濟主戰場：

傳感器風險猶存

1、關鍵核心技術未能突破，產業化難點未能解決，高端核心傳感器依賴進口。
2、國內高檔傳感器的應用市場幾乎被國外壟斷

3、一些高端傳感器，國外對中國明確禁運

對中國傳感器產業的4點思考

1、重組國家隊，加強基礎研究，突出創新——培養多個領域傳感器領軍人才。

2、強化傳感器產業鏈的研究和建設——培育中國傳感器標志性企業。

3、用好、用活現有的MEMS傳感器芯片工藝線——培養傳感器大國工匠。

此處可參看《新增3條12英寸MEMS產線！中國40條主要傳感器芯片產線盤點（最新最全）》內容，本文做了補充和豐富。

4、盡快解決工業基礎類傳感器中“有器無芯”問題——培養眾多傳感器企業家

結束語

附錄：國內最具影響力傳感器企業盤點

其他具有行業影響力的傳感器企業：

序號	單位（企業）名稱	主要產品	單位水平簡述
13	深迪半導體（上海）有限公司	商用MEMS陀螺儀系列，慣性傳感器的MEMS芯片	我國目前規模量產商用微機電系統（MEMS）陀螺儀的設計、生產企業，是我國商用微機電系統慣性傳感器領域的龍頭企業。
14	蘇州明皜傳感科技有限公司	加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、磁傳感器	國內MEMS傳感器技術的創新者和開拓者。主要從事MEMS傳感器的研發、設計和生產，并提供相關技術服務。
15	上海矽睿科技 有限公司	MEMS傳感器、加速度傳感器、AMR磁傳感器系列、光傳感器、氣壓高度計、陀螺儀、組合慣性傳感器	專業從事高端MEMS傳感器和執行器、微系統等技術與產品的開發、生產及銷售。
16	水木智芯科技（北京）有限公司	z軸陀螺整套產品： 配備自主研發ASIC電路；具有OTP模塊；可實現用戶編程	集研發、生產、銷售于一體的專業性高科技企業，帶動MEMS產業的發展，打造MEMS在中國的產業鏈，使中國成為世界MEMS主要的研發、制造基地。
17	山東共達電聲股份有限公司	麥克風	專業的電聲元器件及電聲組件制造商、服務商和電聲技術整體解決方案提供商，是國家級高新技術企業、中國電子元件百強企業。
18	蘇州敏芯微電子技術股份有限公司	MEMS硅麥克風聲學傳感器、硅壓力傳感器和加速度傳感器	國內最早成立的MEMS研發公司之一。管理團隊具有深厚的半導體及MEMS產業背景，核心技術團隊有在國內外頂尖大學微電子實驗室從事MEMS與集成電路（IC）技術研究的寶貴經驗。
19	無錫芯奧微傳感技術有限公司	MEMS麥克風MEMS陀螺儀、MEMS加速計和MEMS高度計	從事MEMS傳感器研究、開發和生產的公司，專注于提供高品質的半導體硅基麥克風及其他傳感器件產品。
20	艾普柯微電子（上海）有限公司	光傳感器，光感距離傳感器產品線，TOF傳感器，心率傳感器，TWS上超薄距離傳感器	中國大陸領先的光電傳感器公司，專注于光電傳感器的設計、生產及銷售，為客戶提供專業解決方案。在深圳、無錫、香港設有分支。
21	諾思（天津）微系統有限責任公司	硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術的FBAR射頻濾波器	中國首家FBAR生產企業，從事無線設備射頻前端MEMS濾波芯片、模塊、應用方案的設計、研發、制造和銷售，核心產品具有國際領先水平。
22	北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司	系列化微型濕度傳感器及模塊、MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器及相關傳感器模塊和解決方案	國內第一家采用MEMS技術批量生產微型傳感器的高科技企業。各種微型傳感器芯片均采用具有國際先進水平的MEMS設備生產，生產能力達到月產傳感器一百萬只以上；產品的測試環境也居國內先進水平。一流的生產設備和超凈加工環境為“青鳥元芯”傳感器提供了可靠的質量保證。
23	昆山雙橋傳感器測控技術有限公司	一為通用型表壓、差壓、絕壓傳感器；二為高特難新類高檔儀表傳感器；三為采用智能化技術開發的汽車壓力傳感器、物聯網用傳感器	昆山傳感器產業基地核心骨干企業，致力于MEMS壓阻壓力傳感器的研發、生產與銷售。
24	麥克傳感器股份 有限公司	壓力傳感器、變送器、電磁流量計、溫度儀表、手持設備、物聯網末端采集與無線傳輸裝置	中國OEM壓阻式壓力傳感器的行業領軍企業之一，擁有數十年擴散硅壓力傳感器、變送器的設計研發和生產制造經驗。
25	山東昊潤自動化技術有限公司	液位、硅電容智能傳感器、硅壓阻OEM傳感器	通過與世界著名的傳感器設計者和生產商-芬蘭VTI公司開展深入合作，引進世界領先的3D-MEMS技術，硅電容傳感器生產線，年生產規模1500萬只。
26	北京廣微積電科技有限公司	MEMS傳感器的研發、壓力傳感器、高端數模混合集成電路及MEMS（微機電）傳感器	致力于高端數模混合集成電路及MEMS傳感器和驅動器的研制生產。憑借雄厚的資金實力、先進的管理制度、首屈一指的研發團隊，自公司創始至今，成功突破了多項行業內技術難題，實現了高精度技術的規模化生產應用。
27	罕王微電子（遼寧）有限公司	壓力傳感器、氣體傳感器、接近傳感器，消費級壓力傳感器、麥克風、磁力計等	擁有8英寸MEMS芯片產業化規模生產線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產全流程。
28	南京高華科技股份有限公司	傳感器芯體及敏感部分、通用傳感器、特種傳感器、軌道交通傳感器等	研制高可靠MEMS傳感器、慣性測量單元（IMU），及物聯網系統工程為主導的國家級高新技術企業，擁有南京市MEMS傳感工程技術研究中心、南京市MEMS智能裝置傳感技術研究中心、江蘇省高性能MEMS慣性傳感器工程研究中心、江蘇省企業技術中心、江蘇省企業研究生工作站。
29	陜西創威科技 有限公司	高端壓力、溫度計量校準儀表	主要從事熱工領域高端壓力、溫度計量校準儀表的研發、制造、銷售。
30	安徽感航電子科技有限公司	差動變壓器式位移傳感器、非接觸式電渦流傳感器、磁致伸縮位置傳感器、光電反射算法芯片的機器人室內定位傳感器、MEMS玻璃微融技術的低成本壓力和力傳感器，微差壓（風壓）傳感器	一家專業研發制造和銷售傳感器、智能裝備與系統解決方案的高科技公司；不斷推出智能制造、產業創新所需的核心零部件產品，產品可靠性、穩定性及一致性達到國際先進水平，多項研究成果填補國內空白。
31	上海艾絡格電子技術有限公司	智能壓力傳感器、智能壓力變送器、智能溫度變送器、ASP密度計	從事儀器儀表、工業自動化系統、高可靠性數據采集、通訊組件的研發、生產和銷售業務。
32	杭州麥樂克科技股份有限公司	傳感器、傳感器模塊、紅外濾光片	專業從事中高端紅外特征敏感元件，傳感器及傳感技術的研發、生產、銷售，為客戶提供技術支持等全套產品解決方案的高新技術企業，建立美國（華盛頓）、加拿大（多倫多）、德國（斯圖加特）、日本（東京）、韓國（首爾）五個辦事處，銷售網絡遍布全球，擁有國際性的營銷網絡和研發團隊。
33	山東佰測傳感科技股份有限公司	數字傳感器、壓力傳感器、高精度壓力變送器、一體化溫度變送器等。	從事傳感與控制的高新技術企業。專業設計、精工制造的壓力、真空、液位、溫度、流量等測量儀器以及數字顯示控制儀表。
34	江蘇杰克儀表 有限公司	智能壓力變送器、差壓變送器、液位變送器、流量變送器、擴散硅壓力變送器、溫度變送器、壓力表、WZ系列熱電阻、WR系列熱電偶等產品	一家實力雄厚的自動化儀表制造商，九十年代引進了國外先進技術和設備，是從事儀表的研制，開發，生產及銷售的專業公司。
35	南京航伽電子科技有限公司	壓力傳感器、溫度變送器、隔膜壓力變送器、防爆型壓力變送器、精巧型壓力變送器、衛生型壓力變送器、平膜型壓力變送器、單晶硅壓力變送器、防腐型壓力變送器、高溫型壓力變送器、單晶硅差壓變送器、投入式液位變送器，物聯網應用	專注于傳感器，變送器及物聯網的高科技企業，主要從事各類智能型壓力變送器，各類測量控制系統軟件，物聯網應用的研發、生產、銷售和服務。公司擁有國內一流的研發隊伍，生產設備，檢測儀器和售后服務體系，在國內同行業處于領先地位。
36	深圳尼賽拉傳感有限公司	熱釋電紅外傳感器、菲涅爾透鏡、紅外小信號處理專用IC,各種通用IC。	致力熱釋電紅外傳感器、測量測試、試驗儀器、及工業智能自動化控制系統研制和集成應用的高新科技企業。

遴選標準：注冊資本金在5000萬人民幣以上，有代表性的傳感器技術或產品，有產品生產線，特別是有芯片制備工藝線優先，在行業上有較高的影響力和知名度，傳感器為“主業”占本單位年銷售額30%以上。（研究院所和高等院校不在此列）

來源：傳感器國家工程研究中心