RFID技術(shù)應(yīng)用在半導(dǎo)體貨架監(jiān)控,可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體貨架儲(chǔ)存位置與生產(chǎn)線晶圓批次自動(dòng)連接,在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上追蹤每個(gè)晶圓批次。
應(yīng)用原理
電子貨架每個(gè)存儲(chǔ)位置都會(huì)與晶圓批次信息自動(dòng)連接,當(dāng)操作人員將某批次晶圓隨意放置在貨架位置上時(shí),RFID半導(dǎo)體讀碼器便會(huì)立即啟動(dòng)采集RFID標(biāo)簽信息。所有數(shù)據(jù)將會(huì)收集于一個(gè)中央數(shù)據(jù)庫(kù)中,方便工作人員在企業(yè)內(nèi)聯(lián)網(wǎng)上任何PC終端機(jī),通過獨(dú)立操作系統(tǒng)的圖示網(wǎng)絡(luò)界面來查詢數(shù)據(jù)。此外,正確存儲(chǔ)位置的LED燈將會(huì)亮著,讓操作人員知悉該批次晶圓的實(shí)際位置。
應(yīng)用案例
江蘇半導(dǎo)體生產(chǎn)公司采用科智立的半導(dǎo)體RFID讀寫器JY-V640,將其應(yīng)用在晶圓盒的TI玻璃管標(biāo)簽識(shí)別上,改善以往的晶圓盒辨認(rèn)方法,提升半導(dǎo)體晶圓盒在生產(chǎn)過程中的工作效率。

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JY-V640半導(dǎo)體讀寫器是面向半導(dǎo)體行業(yè)制造開發(fā)的RFID系統(tǒng),采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式,支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)半導(dǎo)體SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議,具有出色的讀寫可靠性和通信穩(wěn)定性、抗載體的性能變化能力強(qiáng)、抗外來干擾的能力強(qiáng)。

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半導(dǎo)體電子貨架RFID讀碼器JY-V620
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半導(dǎo)體RFID手持智能終端讀寫器JY-V7960
以上是RFID技術(shù)在FOUP晶圓盒電子貨架及生產(chǎn)線的使用,通過RFID技術(shù),有效減少人晶圓盒與人的接觸,避免灰塵堆積對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的影響,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)流程、提高工作效率!
審核編輯黃宇
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