新型表面聲波器件自上世紀60年代以來，已經有40多年的歷史了。其中應用最廣泛的是表面聲波濾波器，其次是表面聲波傳感器，由于表面聲波的傳播速度與衰減和它所處的傳播環境以及介質的參量有很大的關系，所以利用了表面聲波傳感器制作器件，會具有很高的靈敏性。

表面聲波傳感器一般利用兩種不同的石英晶片為基片,前者有高壓電系數,后者溫度穩定性較好。在表面聲波傳感器件表面涂抹某種特殊物質及催化膜，這樣與周圍環境里的氣體、液體或固體粒子接觸時，通過對它們的吸附，使器件質量發生變化，形成質量、化學或生物傳感器。

如果要提高靈敏度，還得要改進傳感器的結構，比如選取適當的基片及適當的對基片的切割方向進行更改，并適當選取換能器電極的材料，優化設計換能器的結構等方法。對于如果是用在化學或生物領域，還需要優化選擇傳感器的催化膜的材料以及厚度。

表面聲波傳感器的應用：

1. 瑞利波傳感器

瑞利波傳感器也成為表面聲波傳感器，因為瑞利波傳感器的位移軌道為橢圓形軌道，所以在液固環境傳播時，能量容易漏向液體。因為不適用于液體環境的傳感檢測，只能應用在氣體環境里。目前瑞利波傳感器較成熟，部分已達到商用要求，多用于毒品、毒氣以及有害氣體的檢測。

2. 切向水平板模傳感器

瑞利波傳感器在液體環境中無法使用，通常選擇水平位移的聲波模式，比如切向水平板模傳感器，切向水平板模傳感器是一種聲波導，質量檢測靈敏度依賴于板的厚度，板越薄靈敏度越高。優點是上下表面均有切向水平位移，這樣的話兩面都可用于傳感。缺點是由于板太薄，無法承受一定的機械強度，所有近年來較少研究。

表面聲波傳感器因為具有靈敏度高、分辨率高、穩定性高、體積小以及輸出信號易處理等優點而得到廣泛應用。利用多種波型發展了多種結構、多種材料的表面聲波傳感器,在氣體和液體環境下,應用于物理、化學和生物方面的參量傳感 和檢測。

審核編輯：湯梓紅