本技術涉及用于真空設備中籽晶棒傳動機構的水電連接機構。 現在，用公知單晶爐設備的種晶棒傳動機構自轉的水、電的連接結構很重，大多用軸承、橡膠環、帽等部件實現軸水冷的密封，不僅軸密封不可靠，而且結構龐大，安裝、維護時也不方便。

單晶爐的構成主要如下。

拉晶頭：主要由安裝盤減速器種子型腔劃線電機磁流體種子重量頭軟波紋管、導電性滑環等其他部件組成。

副室：主要由副室筒及上下及凸緣組成

爐蓋：由副室連接凸緣、反板閥、觀察窗抽真空管路組成

爐筒：包括取光孔

下爐筒：包括抽真空配管

基礎機架：主要是全鑄鐵機架和基礎

坩堝下傳動裝置：主要由磁流體電動機坩堝支撐軸減速器軟波紋管柱上下傳動支撐框導軌等組成

分水器已經是水路配置，包括分水器、供水水管、幾個軟管水管罩等。

氬管配置：質量流量計3根以上柔性管不銹鋼管3個壓力探測器高密封性咬入等部件

真空泵及真空除塵裝置：液壓真空泵水環真空泵過濾器真空配管硬波紋管等

電源及控制柜：電源柜濾波器柜控制柜及連接線。

默孚龍科技針對上述存在的技術問題，為了解決籽晶棒傳動機構在水、電方面的安裝、維護的不便等問題，提供了全局合理緊湊、操作方便的水電連接機構。 為了實現上述目，技術方案是，配置在安裝于籽晶軸的導電性滑環的上方，其內圈固定于籽晶軸的旋轉接頭;導電滑環的外圈分別經由連接板固定于固定框架，旋轉接頭和籽晶軸內孔采用內環旋轉外環不旋轉的旋轉接頭和導電性滑環，實現了籽晶軸自轉時的水電連接，使水管和電纜的安裝、維護變得容易

審核編輯 黃昊宇