氣敏傳感器的工作原理

聲波器件表面的波速和頻率會隨外界環境的變化而發生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜，當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用（化學作用或生物作用。

或者是物理吸附），使得氣敏薄膜的膜層質量和導電率發生變化時，引起壓電晶體的聲表面波頻率發生漂移；氣體濃度不同，膜層質量和導電率變化程度亦不同，即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測量聲表面波頻率的變化就可以獲得準確的反應氣體濃度的變化值。

生活中常見的氣敏傳感器如：

1、測飲酒者呼氣中酒精量的傳感器；

2、測量汽車空燃比的氧氣傳感器；

3、家庭和工廠用的煤氣泄漏傳感器；

4、用作預防建筑材料著火產生有毒氣體的傳感器；

5、下水道坑內的沼氣警報器。

半導體氣敏傳感器的應用

由于半導體氣敏傳感器具有靈敏度高、響應時間和恢復時間快、使用壽命長及成本低等優點，所以得到了廣泛應用。按照用途、可分為檢測儀、報警儀、自動控制儀器和測試儀器等幾種類型

整合自：電工學習網、東莞市高技能公共實訓中心、百度百科

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