據麥姆斯咨詢報道，IMEC近日展示了采用硅FinFET（鰭式場效應晶體管）工藝的最小生物傳感器。IMEC是一家位于比利時魯汶的微電子研究中心，采用與CMOS工藝兼容的制造流程，可實現10000顆“bioFET（生物場效應晶體管）”并行工作的批量生產，并集成于高通量、高性價比的檢測工具中。目前，該檢測工具的檢測精度為數十個分子，IMEC的最終目標是實現可檢測單個DNA分子的高精度bioFET。

得益于高集成度和低成本潛力，FET（場效應晶體管）引起了生物傳感（例如DNA、蛋白質、病毒檢測及pH傳感等）應用領域的廣泛興趣。當生物分子與柵極的化學修飾介電表面結合時，FET閾值電壓發生變化，產生可測量信號。

IMEC的bioFET與DNA分子（圖中用紅色繪制）結合的示意圖（源極和漏極均用金色繪制）

盡管IMEC在該領域的研究取得了持續性進展，但傳統認知里FET器件尚未轉變為成熟的傳感產品。該研究中心探索了具有3D柵極結構的FinFET是否可以提高bioFET的靈敏度，并開辟新應用領域。FinFET具有高度集成化和并行化優勢，但市場對其作為bioFET的潛力知之甚少。

優化后的FinFET器件長度減小到50納米，證實了其對納米級FinFET表面數十個DNA分子的強大檢測能力。該研究中心預測，基于實驗和模擬，在小于70納米的FinFET中，實現信噪比（SNR）大于5的單分子檢測是可能的。

“我們發揮現有能力將大量納米器件集成到復雜系統中，不僅能獲得更好的計算機或通訊器件，還能為生命科學提供基于芯片的工具，這將對迄今為止揭示難以獲得的生物學細節能力造成顛覆性的改變。”IMEC衛生技術首席技術官Peter Peumans評論道。

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