奧松電子的絕對濕度傳感器專利，使得熱敏電阻迅速感應到空氣濕度的變化，進而提高了其本身的響應速度，大大增強了絕對濕度傳感器的靈敏度。

近日廣州奧松電子新型MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營，從成立至今的短短7年里，該公司在溫濕度傳感器、氣體傳感器等多個傳感器領域有所建樹。

日常生活中，空氣中的水蒸氣的含量不但會影響空氣的濕度，而且會使空氣出現潮濕或者干燥的現象。絕對濕度傳感器正是用來測量空氣真實的干濕程度，但市面上絕對濕度傳感器部分的工藝是采用玻璃密封熱敏電阻作為濕度感應原件。

因為其工藝結構的影響，導致熱敏電阻對外界溫度的響應非常緩慢，加熱至穩定的時間甚至需要數十秒鐘，而且正常使用中由于其響應速度偏慢，所以靈敏度較低。

為此，奧松電子申請了一項名為“絕對濕度傳感器、熱敏電阻及熱敏電阻的制作方法”的發明專利（申請號：201711494556.0），申請人為廣州奧松電子有限公司。

圖1 絕對濕度傳感器的結構框圖

絕對濕度傳感器的結構框圖如上圖1所示，它主要包括分別位于左右兩側的第一測量單元和第二測量單元。1至4分別代表水分子、第一外殼、熱敏電阻以及第二外殼，其中第一外殼2為非封閉外殼設置一窗口，使得熱敏電阻3部分裸露在外殼外，進而通過該窗口與空氣中的水分子1接觸。

在絕對濕度傳感器工作狀態時，將絕對濕度傳感器通電，使第一測量單元與第二測量單元流過相同的電流，初始時兩個測量單元中的熱敏電阻阻值相同。而第一測量單元中的熱敏電阻3通過與空氣中的水分子1直接接觸，使阻值發生變化，計算此時第一測量單元中的熱敏電阻3的阻值，并將該阻值與第二測量單元中的熱敏電阻3的阻值進行對比，計算兩者的差值。最后將阻值差通過算法換算成實時的空氣絕對濕度變化，從而計算出空氣中水蒸氣的密度。

圖2 絕對濕度傳感器中熱敏電阻的制作方法

上圖2是絕對濕度傳感器中熱敏電阻制作方法的流程圖，首先，將晶圓基板進行熱氧化（S1），然后通過低壓化學氣相沉積法，在進行熱氧化后的基板表面生長一層絕緣膜（S2）。接著，在絕緣膜層刻蝕出掩膜，將掩膜覆蓋在絕緣膜層上非微熱板層的區域（S3），并根據磁控濺射在覆蓋有掩膜的絕緣層上鍍制一層微熱板層，鍍制完成后剝離掩膜使微熱板層不會完全覆蓋絕緣層（S4），再在絕緣層以及微熱板層上鍍一層保護層（S5）。最后則是采用砂輪切割上述基板，得到電阻單元，將其經過固晶、打線以獲得單個的熱敏電阻（S6）。通過上述方法生產熱敏電阻，生產周期端，產量高，體積小。

簡而言之，奧松電子的絕對濕度傳感器專利，使得熱敏電阻迅速感應到空氣濕度的變化，進而提高了其本身的響應速度，大大增強了絕對濕度傳感器的靈敏度。

奧松電子作為國內一流濕度傳感器生產制造基地，不僅技術力量雄厚，而且十分注重產品研發，多次與國內外科研機構建立合作事宜，同時也為我國濕度檢測技術的進步做出了大量的貢獻。

關于嘉德

深圳市嘉德知識產權服務有限公司由曾在華為等世界500強企業工作多年的知識產權專家、律師、專利代理人組成，熟悉中歐美知識產權法律理論和實務，在全球知識產權申請、布局、訴訟、許可談判、交易、運營、標準專利協同創造、專利池建設、展會知識產權、跨境電商知識產權、知識產權海關保護等方面擁有豐富的經驗。
責任編輯:tzh