據麥姆斯咨詢報道，近日，位于英國劍橋的初創公司Flusso推出了新款流量傳感器FLS110，尺寸僅為3.5 mm × 3.5 mm，號稱是全球最小尺寸的MEMS流量傳感器。

目前，流量傳感器的目標應用主要包括：真空吸塵器、空調機組和其它消費類電器的有源濾波器監測，工業和家用氣體檢測產品及系統的管道堵塞檢測，消費類和工業類應用的氣泵監測與控制，以及如智能吸入器、健身監測面罩等便攜式醫療設備。

Flusso的流量傳感器利用了CMOS MEMS硅基平臺，同時還具備額外的可編程性和可配置性。該流量傳感器采用微電子技術進行封裝和組裝，可為每月數千萬個部件的制造提供高性能和可擴展性。

該傳感器在旁路結構中測量流量，測量范圍較廣，從0.001標準升/分鐘到超過500標準升/分鐘皆可涵蓋。同時，該傳感器可提供完全溫度補償信號。

根據應用需求、設計指南以及應用工程支持，Flusso提供的固件和軟件可配置和定制不同的FLS110操作模式，以幫助客戶縮短新產品的開發周期。

FLS110集成于6引腳DFN封裝中，經回流焊，由自動產品組裝線完成編帶和卷盤后發貨。

Flusso現已提供FLS110樣品，并與產品評估套件一起提供。該產品將于2021年上半年開始量產。

關于Flusso

Flusso成立于2016年，由Florin Udrea教授（CamSemi、Cambridge CMOS Sensors、Cambridge Microelectronics以及Cambridge GaN Devices的聯合創始人）、Julian Gardner教授（Cambridge CMOS Sensors和Sorex的聯合創始人）、John Coull博士以及Andrea De Luca博士共同創立，公司所有傳感器專家都具有豐富的半導體行業經驗。

此外，Flusso邀請到對經營半導體初創公司具有豐富經驗的企業家Robert Swann擔任董事長，也邀請了前霍尼韋爾安全與生產力解決方案部門技術與合作副總裁Cleopatra Cabuz加入公司。

該公司曾于2020年6月獲得570萬美元的A輪融資，此輪融資旨在大規模生產Flusso號稱全球尺寸最小的MEMS流量傳感器。這輪融資由Parkwalk Advisors和Foresight Williams Technology EIS基金領投，24 Haymarket、Cambridge Enterprise、Martlet和Cambridge Angels等公司共同跟投。

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