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索尼宣布將發布兩款用于工業設備的新型短波紅外圖像傳感器

MEMS ? 來源:MEMS ? 2020-06-01 17:02 ? 次閱讀
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據麥姆斯咨詢報道,近日,索尼(Sony)宣布將發布兩款用于工業設備的新型短波紅外(SWIR)圖像傳感器:IMX990和IMX991。該新型傳感器能捕獲在可見光和不可見光光譜中的圖像,采用業界最小的5μm像素,尺寸緊湊。

新產品采用了索尼獨創的SenSWIR技術,在銦鎵砷(InGaAs)化合層上形成光電二極管,并通過銅-銅(Cu-Cu)連接硅(Si)層的讀出電路。

SWIR圖像傳感器能夠感應到人眼看不見的波長,支持不同應用領域的相機和測試設備開發,有助于工業設備的多樣化發展。

SWIR圖像傳感器:IMX990
左圖左側:陶瓷LGA封裝;左圖右側:內置熱電裝置的陶瓷PGA封裝。右圖:索尼SenSWIR技術Logo

使用傳統的凸塊(bump)連接,將接收光源的光電二極管InGaAs層與輸出電路的Si層進行鍵合時,必須確保一定的凸塊間距,要實現比現有CMOS圖像傳感器更小的像素尺寸幾乎不可能,因此實現傳感器微型化困難重重。然而,采用Cu-Cu連接,使得索尼新產品擁有更小的像素間距,即業界最小的5μm像素。從而在保持SXGA(IMX990)、VGA(IMX991)分辨率的同時減小相機尺寸變成可能,且有助于提高測試精度。

左圖:凸塊連接;右圖:Cu-Cu連接


索尼獨創的SWIR圖像傳感器技術讓頂層磷化銦(InP)層能吸收四倍的可見光,厚度更薄,因此可以將光傳輸到InGaAs層之下,即使在可見光范圍內量子效率也非常高。這種設計可以在0.4μm~1.7μm較寬的波長范圍內成像,從而實現單個攝像頭代替傳統的多攝像頭,同時完成可見光和短波紅外光的捕獲。

SWIR圖像傳感器技術的波長(X軸)和量子效率(Y軸)關系示意圖

成像樣品1

切換光源可以同時獲取蘋果的表面信息和果肉信息
(左圖:可見光圖像;右圖:SWIR圖像)


成像樣品2

利用短波長紅外光吸收率的差異進行材料分類
(左圖:可見光圖像;右圖:SWIR圖像)


傳統SWIR圖像傳感器通常具有模擬信號輸出功能,但新產品支持數字輸出,可提供與當前工業CMOS圖像傳感器相同的性能。雖然模擬輸出傳感器需要相機的數字轉換電路或其他功能,但是新產品自帶此功能,從而減少了相機開發的步驟,并使多功能相機的開發更加容易。

關鍵規格

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:索尼發布面向工業應用的可量產SWIR圖像傳感器

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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