高頻發生器（radioffequencygenerator）又稱射頻發生器。電感耦合等離子體原子發射光譜/質譜等分析中用來產生等離子體炬的裝置。它產生的高頻電流輸給電感線圈，以激勵石英炬管（置于線圈中）內的氬氣，形成等離子體焰炬。

分自激式和他激式（晶控型）振蕩器兩種類型。振振蕩頻率在3～50MHz，常為27.12MHz和40.68MHz，輸出功率在0.7～7kW，常用為1.0～2.0kW。

高頻發生器的特點

1、高頻發生器體積小、重量輕、更美觀、更可靠、操作簡便、功能齊全，便于野外使用，是新世紀最理想的可靠產品。

2、高頻發生器采用先進的技術及制造工藝，應用脈沖串邏輯陣列調制，采用大功率IGBT器件，利用高頻技術提高頻率，頻率高達100kHz，從而使輸出高壓穩定度更高，波汶系數更小。

3、高頻發生器測量更精準。高頻發生器解決許多電子精度不高、測量不準確的問題，高頻發生器的電壓、電流均為數字顯示電壓分辨率為0.1kv，電流分辨率為0.1uA，控制箱上電壓表直接顯示加在負載試品上的電壓值，使用時無需外加分壓器，接線簡單。

高頻發生器的作用

在輸入一定范圍的電源電壓后，高頻發生器產生2.65MHZ高頻恒電壓送給功率耦合器，由功率耦合器在玻殼的放電空間內建立靜電強磁場，對放電空間內的大氣進行電離，并生產強紫外光，玻璃泡殼內壁的三基色熒光粉受強紫外光激勵發光。在電源設計上，由于采用APFC電源控制技術和采用IC技術，一方面使得電源的功率因數高達0.95以上;另一方面使得高頻發生器始終以高頻恒電壓點燈。所以，輸入的電源電壓在一定范圍內波動時，其發光亮度均不變。

高頻發生器的要求

1、高頻發牛器的振蕩頻率一般為27.12MHz或40.68MHz，輸出功率一般為1～1.5kW。

2、反射功率越小越好，一般要求小于10W。

3、要求高頻發生器的輸出功率有極好的穩定性，因為輸送到ICP的功率只要有0.1%的漂移，發射強度就能產生超過1%的變化。因此，高頻發生器的功率變化必須小于±0.05%。

4、高頻發生器應有良好的接地裝置，其接地電阻越小越好，一般以不超過4Ω為宜