一站式晶圓三維檢測(cè)

三維形貌晶圓白光干涉儀粗糙度高度測(cè)量

型號(hào)： WM300R

品牌： Atometrics(優(yōu)可測(cè))

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

粗糙度RMS重復(fù)性 0.005nm
臺(tái)階重復(fù)性 0.09%
臺(tái)階準(zhǔn)確度 0.5%

--- 產(chǎn)品詳情 ---

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