優(yōu)可測(cè)光譜共焦位移傳感器

位移傳感器平面度檢測(cè)

型號(hào)： AP-5005

品牌： Atometrics(優(yōu)可測(cè))

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

基準(zhǔn)距離 8mm
測(cè)量范圍 0.7mm
直線性 ±0.18μm
分辨率 2nm
光點(diǎn)直徑 8μm
最大角度 ±48°
最小可測(cè)厚度 24μm

--- 產(chǎn)品詳情 ---

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