--- 產品參數 ---
- 型號 JS10C
--- 產品詳情 ---
? 產品介紹:
澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表,憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能,可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。
JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號,結合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統,通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對軟質材料的損傷,又確保了測量過程的穩定性。此外,設備搭載的攝像頭實時成像系統,可同步觀察樣品區域與探針尖端的位置關系,輔助用戶精確定位特征結構,顯著提升測量效率。
作為國產科學儀器的突破性成果,JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設備領域的長期壟斷,憑借高性價比與本地化服務優勢,成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。
? 特點:
量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價比
? 應用范圍:
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
? 技術參數
技術指標 | JS10C |
樣品厚度 | ≤50mm |
樣品尺寸 | 6寸 |
重復性測量偏差 | ≤0.5nm(1o lum標準塊重復掃描30次) |
最大測量范圍 | 160um |
探針加力范圍 | 0.5~50mg |
力控制 | 恒定 |
采樣速度 | 200Hz |
最大掃描長度 | 55mm |
掃描最大采集點數 | 200萬點 |
掃描速度 | 5um/s-1000um/s |
樣品臺運動方式 | 可實現水平(X/Y),旋轉(RZ)手動控制 |
XY樣品臺行程 | 150mm |
樣品旋轉臺 | ±360° |
標準探針 | 曲率半徑≥2um角度60°(標配) |
亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60° |
軟件功能 | 臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量 |
主機外形尺寸 | 500mm*500mm*400mm |
樣品臺尺寸: | 170mm(比6寸大20mm) |
掃描方向 | 左右雙向 |
氣浮臺形式: | 桌面式(環境差建議選落地式) |
聚焦方式 | 主動聚焦 |
? 軟件界面

? 掃描圖

18nm樣品

68um樣品
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