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澤攸科技

澤攸科技專注于掃描電鏡、原位測量系統、臺階儀、探針臺、電子束光刻機等精密設備的研究,填補了國家在科學精密儀器領域的諸多空白。

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手動臺階儀JS10C

型號: JS10C
品牌: ZEPTOOLS(澤攸科技)

--- 產品參數 ---

  • 型號 JS10C

--- 產品詳情 ---

? 產品介紹:

澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表,憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能,可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。

JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號,結合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統,通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對軟質材料的損傷,又確保了測量過程的穩定性。此外,設備搭載的攝像頭實時成像系統,可同步觀察樣品區域與探針尖端的位置關系,輔助用戶精確定位特征結構,顯著提升測量效率。

作為國產科學儀器的突破性成果,JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設備領域的長期壟斷,憑借高性價比與本地化服務優勢,成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。


? 特點:

量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價比


? 應用范圍:

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量


? 技術參數

技術指標

JS10C

樣品厚度

≤50mm 

樣品尺寸

6寸

重復性測量偏差

≤0.5nm(1o lum標準塊重復掃描30次)

最大測量范圍

160um

探針加力范圍

0.5~50mg

力控制

恒定

采樣速度

200Hz

最大掃描長度

55mm

掃描最大采集點數

200萬點

掃描速度

5um/s-1000um/s

樣品臺運動方式

可實現水平(X/Y),旋轉(RZ)手動控制

XY樣品臺行程

150mm

樣品旋轉臺

±360°

標準探針

曲率半徑≥2um角度60°(標配)

亞微米探針

曲率半徑≤1um角度60°

軟件功能

臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量

主機外形尺寸

500mm*500mm*400mm

樣品臺尺寸:

170mm(比6寸大20mm)

掃描方向

左右雙向

氣浮臺形式:

桌面式(環境差建議選落地式)

聚焦方式

主動聚焦


? 軟件界面


? 掃描圖

18nm樣品

68um樣品

 

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系澤攸科技咨詢。

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