激光器芯片擴膜摘料設備
型號:
HX-ZL-100
激光器芯片擴膜摘料設備:是芯片經過劃片、裂片后,進行藍膜擴膜分隔產品間距,通過OCR字符識別與Map表格對應,實現力控吸取物料Wafer To Tray,并且良率達到99.95%以上。
技術參數
| 取芯精度 | 土0.02mm |
| 芯片旋轉 | 土60° |
| 芯片尺寸 | 0.3mm x0.5mm ~5mm x7mm |
| 最大晶環尺寸 | 8寸 |
| 識別精度 | 土0.005um/pix |
| 取芯臂 | 90° |
| 滑臺分辨率 | 0.5um |
| 氣源 | 0.3~0.7Mpa |
| 圖像識別 | 2500萬像素 |
| 取芯頭 | 真空表面吸取式 |
| 取芯力度 | 15~200g可調 |
| 電源 | 單相220V AC土10%\50HZ\可靠 接地 |
| 外形尺寸 | 1690mm x 1050mm x 1750mm |