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博捷芯半導體

專注于精密劃片和切割,以及特殊切割加工等領域。

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LX3352精密劃片機

型號: LX3352

--- 產品參數 ---

  • 加工尺寸 ø305mm/260mm×260mm或定制
  • 最大速度 0.1-600mm/s
  • 定位精度 0.002/5mm、0.003/310mm
  • 單步步盡量 0.0005mm

--- 產品詳情 ---

晶圓劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 


 

產品介紹:
 

● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

● 高剛性龍門式結構

● T軸旋轉軸采用DD馬達

● 進口超高精密級滾柱型導軌

● 進口超高精密滾珠型絲桿

● CCD雙鏡頭自動影像系統

● 友好人機交互界面

● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線度,實測0.9μm

● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

● 自動化程序著提升

● 滿足各種加工工藝需求

 

產品參數:

項目

產品型號

LX3352劃片機

 

加工尺寸

?305mm/260mm×260mm或定制

X軸

最大速度

0.1-600mm/s

直線度

0.002/310mm

Y軸

有效行程

310

定位精度

0.002/5mm、0.003/310mm

分辨率

0.0001mm

 Z軸

有效行程

40mm

單步步盡量

0.0005mm

最大刀輪直徑

58

T軸

轉動角度范圍

380

主軸

最大轉速

60000rpm

額定輸出功率

直流1.8KW

 基礎規格

電源

220V/50Hz

壓縮空氣

0.5-0.8Mpa、Max220L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

排風流量

5m3/min

尺寸(mm)

1080X1160X1810

重量

                                                        1028KG


 

應用領域:

 

1.半體封裝基板及元器件:晶圓IC集成電路、陶瓷基板、玻璃基板、PCB、硅片、線路板、內存儲存卡、QFN、DFN、電容電阻、傳感器、IC二三極管、保險絲等

2.LED基板、燈珠:LED各類型號規格基板、LED燈珠等

3.光通迅及元器件:鍍膜玻璃、濾波片、精密陶瓷、玻璃管、毛細管、法拉第片、隔離片、玻璃V型槽、PCL/AWG、晶圓芯片切割、攝像頭模組等


 

可切材料:

硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB、氮化鋁、鈮酸鋰、石英等


 

配件耗材:

樣品展示:

LX3352型晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機,采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩定性極強,兼容6"-12"材料,雙CCD視覺系統,性能達到業界一流水平

使用環境要求:

1.請使用大氣壓水汽結露點-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣

2.請將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2℃,水溫控制在室溫波動范圍±1℃

3.避免把設備放置在有震動的工作環境工作,遠離鼓風機、通風口、高溫裝置、油污等環境

4.室內溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃

5.工廠具有防水性底板

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