手動CUP清洗機是一種用于清洗晶圓花籃、片盒等半導體耗材的專用設備，其特點主要體現在以下幾個方面：
多功能集成設計
- 集循環過濾、加熱、超聲清洗等多種功能于一體，可滿足不同材質（如SUS304/316不銹鋼）和污染物類型的清洗需求。
- 支持多槽協同工作，實現從藥液浸泡到IPA脫水的全流程操作。
靈活定制與兼容性
- 根據用戶需求提供手動/半自動/全自動三種操控模式，并適配2-12英寸晶圓花籃規格，兼容單雙cassette裝載系統。
- 模塊化結構允許快速更換過濾單元或擴展第三個清洗槽，適應未來工藝升級。
潔凈度保障技術
- 內置0.1um/0.2um級精密過濾器，有效攔截微粒雜質；配合丙酮+IPA梯度沖洗工藝，確保表面無光刻膠殘留。
- 部分機型搭載實時監測系統，通過電導率傳感器動態調整化學試劑配比，維持最佳清洗效能。
總的來說，這類設備憑借高度靈活性和專業化配置，成為連接實驗室研發與量產線的重要紐帶，特別適用于小批量多品種的精密清洗場景。
