一、產品概述
臥式石英管舟清洗機是一款專為半導體、光伏、光學玻璃等行業設計的高效清洗設備，主要用于去除石英管舟、載具、硅片承載器等石英制品表面的污垢、殘留顆粒、有機物及氧化層。該設備采用臥式結構設計，結合化學腐蝕、超聲波清洗、兆聲波清洗及熱風干燥等技術，確保石英器件的高精度清潔度與表面完整性。
二、核心功能與特點
臥式結構設計
- 水平布局，便于石英管舟的裝卸與傳輸，減少人工操作強度。
- 兼容多種尺寸的石英舟（如2寸、4寸、6寸、8寸等），適應不同工藝需求。
多槽分段清洗
- 預清洗槽：去除表面大顆粒與松散污染物（可選配兆聲波增強）。
- 主清洗槽：采用高純度化學試劑（如HF、HCL、H?O?等）進行腐蝕清洗，精確控制石英表面微觀形貌。
- 漂洗槽：多級去離子水（DI Water）沖洗，徹底清除化學殘留。
- 干燥槽：熱風循環干燥或真空干燥，避免水痕與二次污染。
高效清洗技術
- 超聲波清洗：頻率20-40kHz，空化效應剝離頑固污染物。
- 兆聲波清洗（可選）：高頻（>1MHz）聲波產生微米級氣泡爆破，清除亞微米顆粒。
- 化學腐蝕控制：自動配比化學液，恒溫加熱（20-80℃可調），確保均勻腐蝕。
自動化與安全性
- PLC程序控制：預設清洗流程，支持手動/自動模式切換。
- 溫度與時間控制：各槽獨立溫控（±1℃），清洗時間可編程（0-60分鐘）。
- 安全保護：防腐蝕材料腔體（如PFA、PTFE），泄漏檢測與緊急排液系統。
兼容性與擴展性
- 可定制酸液配方（如BOE、RCA清洗液）與工藝參數，滿足特殊清洗需求。
- 可選配UV臭氧去膠模塊或等離子體清洗模塊，增強有機污染物處理能力。
三、適用場景
- 半導體制造：清洗擴散爐石英舟、CVD石墨舟、光刻機部件等。
- 光伏行業：太陽能電池片承載石英舟的顆粒與金屬污染去除。
- 光學玻璃加工：光學鏡片模具、石英坩堝的潔凈度維護。
- 科研實驗：實驗室級高精度石英器件清洗。
四、清洗流程示例
- 裝載：將待清洗石英舟放入臥式清洗艙，關閉密封門。
- 預清洗：兆聲波+DI水初步去除顆粒（5分鐘，室溫）。
- 主清洗：HF/HNO?混合液超聲清洗（15分鐘，40℃）。
- 漂洗：多級DI水沖洗（3槽，每槽5分鐘）。
- 干燥：熱風干燥（120℃，10分鐘）或真空干燥（30分鐘）。
- 卸載：取出潔凈石英舟，進入潔凈存儲環境。
