慣性傳感器的原理

　　慣性傳感器是一種傳感器，主要是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度（DoF）運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。

　　（1）科里奧利（Coriolis）原理：也稱科氏效應（科氏力正比于輸入角速率）。該原理適用于機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺）等。Coriolis法國物理學家（1792年～1843年）。

　　（2）薩格納（Sagnac）原理：也稱薩氏效應（相位差正比于輸入角速率）。該原理適用于光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等。Sagnac法國物理學家（1869年～1926年），居里夫婦的朋友。1913年發明薩氏效應。

　　慣性傳感器構成

　　慣性傳感器包括加速度計（或加速度傳感計）和角速度傳感器（陀螺）以及它們的單、雙、三軸組合IMU（慣性測量單元），AHRS（包括磁傳感器的姿態參考系統）。

　　MEMS加速度計是利用傳感質量的慣性力測量的傳感器，通常由標準質量塊（傳感元件）和檢測電路組成。

　　IMU主要由三個MEMS加速度傳感器及三個陀螺和解算電路組成。

　　慣性傳感器分類

　　慣性傳感器分為兩大類：一類是角速率陀螺；另一類是線加速度計。

　　角速率陀螺又分為：機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺等）；光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等。

　　線加速度計又分為：機械式線加速度計；撓性線加速度計；MEMS硅﹑石英線加速度計（含壓阻﹑壓電線加速度計）；石英撓性線加速度計等。