Keithley 6517B靜電計/吉時利6517B高阻表

半機架型吉時利Keithley 6517B靜電計/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于 接近理想的電路負載，其電壓和電阻測量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標確保物理、光學、納米技術和材料科學等研究領域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準確 度和靈敏度。內置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試 和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。

Keithley 6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：

? 電流測量范圍：10aA - 20mA

? 電壓測量范圍：1μV - 200V

? 電阻測量范圍：1Ω - 1018Ω

? 電荷測量范圍：1fC - 2μC

主要特點

電阻測量可達1018 Ω

電流測量范圍10aA - 20mA

最小電流量程輸入端壓降<20μV

200TΩ 輸入阻抗

<3fA 偏置電流

測試速率高達425 rdgs/s

噪聲0.75fA p-p

內置±1kV電壓源

獨特的高電阻測量電壓反接方法

可選的插件式掃描卡

吉時利6517B型靜電計/高阻表使用變換電極法，實際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第一級和第二級漂移。變換電極法施加一個正極性 電壓，然后在指定延遲（測量時間）后測量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測量電流。連續重復這個過程，并根據4個最新電 流測量結果的加權平均值計算出電阻。對大多數材料來說，通過7次反轉(即 舍棄前三個讀數)，這個方法通常生成可高度重復、準確的電阻（或電阻 率）測量結果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復度，可對1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進行測量，在15秒測試周期內其背景電流低于200fA。

吉時利6517B型靜電計/高阻表采用與數 字多用表類似的簡易操作，可通過前 面板，利用單一按鈕控制電阻測量等 重要功能。還可以通過內置IEEE-488 接口實施控制，因此，可利用計算機 控制器通過總線對所有功能進行編程。