特征
- 測量高達1018歐的電阻
- 10aA (10×10-18A)電流測量分辨率
- 小于3fA的輸入偏置電流
- 6 1/2位高精度測量模式
- 最低電流范圍的負載電壓小于20μV
- 電壓測量高達200V，輸入阻抗大于200ω
- 內置+/-1000V電壓源
- 獨特的交變極性電壓源和測量方法，用于高電阻測量
- 四種不同器件特性測試的內置測試序列，表面和體積電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描
- 可選的插入式掃描卡，可通過一個測試設置測試多達10個設備或材料樣品
吉時利keithley 6517B靜電計
型號：
6517B
