6514型靜電計適合快速和準確的低電流、高源內阻電壓、電荷及高阻的測量。對于不需要使用電壓源的場合，它在合適的價格下提供卓越的測量性能。6514的價格相當于一臺高檔數字表，但是它比數字表提供更高的電流靈敏度和更低的輸入端壓降（低至20μV）
6514型靜電計具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優于我們之前的靜電計。6514內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統，用于低電平測試。
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* 電壓測量時，輸入阻抗>200TΩ
* 電荷測量范圍 10fC-20μC
* 速度可達1200個讀數/秒
* 簡易的用戶界面提供開關，計算機以及元件處理器
* 主動消除電壓與電流的偏移
