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現代化工業數字化測量要求高精度化、低成本和小型化,因為諸如汽車發動機等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度,以便減少噪聲、防止環境污染和節省能耗,這些都是時代對制造業提出的緊迫要求。
SuperViewW1一鍵光學輪廓度測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

產品參數
產品型號:SuperView W1系列
產品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統:1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW1一鍵光學輪廓度測量儀采用白光干涉技術,結合具有抗噪性能的3D重建算法,還原樣品的每一個細節,隨意翻轉縮放,都能測量樣品的任意特征。粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。

性能特點
1、高精度、高重復性
1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;
2)隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得測量重復性;
2、一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;
6)可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。
SuperViewW1一鍵光學輪廓度測量儀采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。直觀的操作界面,對操作流程一目了然,自動聚焦實現一鍵測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量不用愁。
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