基于白光干涉原理的光學3d表面輪廓儀，不僅可以用于零件的檢測，還可以應用于生產中的檢測軋制產品表面缺陷的在線檢測。廣泛應用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航天、科研院所等領域中。
產品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。
2) 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
光學3d表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。它的光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
產品參數
產品型號：SuperView W1系列
產品名稱：光學3D表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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深圳市中圖儀器股份有限公司廣東3d光學輪廓儀廠家成立十多年來，一直堅持以技術創新為發展基礎，歷經了十多年的技術積累和發展實踐，在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
