SuperViewW1系列三維光學輪廓儀測粗糙度采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差）。其掃描模塊和內部抗振設計，可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質。

曲率半徑和表面粗糙度檢測

藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度

薄膜粗糙度測量

硅片表面粗糙度測量

SuperViewW1系列三維光學輪廓儀測粗糙度提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型，另可針對不同的客戶需求，在兩種型號間選取不同配置進行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。

產品參數

產品型號：SuperView W1-Pro

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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